Тонкий раздел 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm шарикоподшипники из глинозема керамические для оборудования Etch Fab

Тонкошлифованный метрический подшипник 6706 из оксида алюминия 30x37x4 мм, керамический шарикоподшипник из оксида алюминия 

6706 / 7706 подшипник из оксида алюминия

Керамические подшипники обладают превосходными характеристиками благодаря своей специальной электрической и магнитной стойкости, износостойкости и коррозионной стойкости, не требующей обслуживания смазки, устойчивости к высоким и низким температурам и т. д. Поэтому они подходят для использования в жестких условиях и особых условиях.

Керамические подшипники из оксида алюминия — это экономичные, высокоточные полностью керамические шарикоподшипники, изготовленные из высокочистого оксида алюминия (Al₂O₃) с использованием процессов спекания высокой плотности и сверхточной шлифовки. Обладая исключительной твердостью, надежной химической стабильностью и превосходной электроизоляцией, эти подшипники из оксида алюминия профессионально разработаны для прецизионной работы при легких и средних нагрузках. Являясь высокоэкономичным и практичным передовым решением для подшипников, они идеально заменяют традиционные стальные подшипники и дорогие керамические подшипники из диоксида циркония, широко применяясь в чистых, коррозионных, изолирующих и высокоточных промышленных условиях работы.

6706 полностью керамический шарикоподшипник из оксида алюминия, внутренний диаметр 30 мм, внешний диаметр 37 мм, ширина 4 мм, стандартный размер подшипника, часто используемый в различных промышленных и коммерческих применениях, подшипник изготовлен из керамики оксида алюминия.

Используя высокочистое керамическое сырье из оксида алюминия и интегрированную технологию высокотемпературного спекания, подшипники из оксида алюминия обладают сверхвысокой твердостью поверхности, превосходной структурной жесткостью и выдающейся стабильностью размеров. Благодаря мелкозернистой и плотной внутренней микроструктуре материал обеспечивает высокую прочность на сжатие, гладкую поверхность и стабильные физико-химические свойства. Обеспечивая превосходные комплексные характеристики и преимущества по стоимости, оксид алюминия становится предпочтительным материалом для прецизионных керамических подшипников среднего класса, обеспечивая долговременную стабильную и надежную работу оборудования.

Основные технические характеристики

1. Превосходная коррозионная стойкость и химическая стойкость

Оксид алюминия химически инертен, устойчив к большинству кислот, щелочей, органических растворителей и соленой воды. Он никогда не ржавеет, не окисляется и не разрушается во влажных, сырых и коррозионных условиях работы. Подшипники могут сохранять полную структурную целостность и точную точность вращения при длительной непрерывной работе в условиях химической обработки, очистки и морской среды.

2. Превосходные электроизоляционные характеристики

Благодаря превосходной диэлектрической прочности и непроводящим характеристикам керамические подшипники из оксида алюминия эффективно изолируют ток, предотвращают утечку тока и блокируют накопление статического электричества. Они полностью предотвращают повреждение вала током, электрические помехи и потери на вихревые токи, что делает их идеальными для высоковольтного электрооборудования, изолированных систем передачи и электронных прецизионных машин, требующих строгой электрической изоляции.

3. Сверхвысокая твердость и износостойкость

Обладая экстремальной твердостью по Шору и высокой прочностью на сжатие, оксид алюминия отличается чрезвычайно низким износом при высокоскоростной и непрерывной работе. Прецизионно отполированные дорожки качения и высокоточные керамические шарики обеспечивают равномерное, плавное и стабильное вращение, эффективно снижая износ компонентов, продлевая срок службы и снижая затраты на техническое обслуживание оборудования.

4. Отсутствие загрязнений и чистая работа

Являясь неметаллическим неорганическим керамическим материалом, оксид алюминия не производит металлических частиц, магнитных частиц или химических осадков во время работы. Он полностью соответствует стандартам производства в чистых помещениях, пищевых продуктах и фармацевтике, эффективно избегая вторичного загрязнения сырья и рабочей среды, подходит для сценариев высокочистого прецизионного производства.

5. Выдающаяся стабильность при высоких температурах

Материал имеет низкий коэффициент теплового расширения и отличную термостойкость, сохраняя стабильную точность размеров и структурную жесткость в условиях длительной работы при высоких температурах. Он устойчив к термической деформации и термическому шоку, адаптируясь к сложным и переменным промышленным температурным средам со стабильной рабочей производительностью.

Почему подшипники из оксида алюминия используются в травителях?

Для процессов травления и оборудования Fab гибридные керамические подшипники из нитрида кремния (Si₃N₄) остаются основным выбором для высокоскоростных шпинделей. Подшипники из оксида алюминия (полностью керамические подшипники или подшипники с элементами качения из оксида алюминия) в основном используются на станциях, близких к камере процесса, подверженных галогенной плазме, где обязательны электроизоляция и сверхнизкое загрязнение. Типичные области применения включают роботов для транспортировки пластин, затворы камер, клапаны регулирования расхода и вращающиеся механизмы вблизи плазменных зон. Они не являются предпочтительным вариантом для шпинделей.

5 основных причин

1. Блокировка загрязнения ионами металлов (самый критический фактор)
Износ стальных подшипников GCr15 выделяет тяжелые металлы, такие как Fe, Cr и Ni. Попадая на пластины, эти примеси напрямую вызывают утечку устройства и потерю выхода. Высокочистый Al₂O₃ (99,9% чистоты) почти не содержит подвижных металлических примесей. Продукты износа, образующиеся при трении, представляют собой порошок оксида алюминия, который несет гораздо более низкий риск загрязнения, чем металлические частицы, в условиях фторной/хлорной плазмы для процессов травления.
2. Стойкость к плазме и средам с галогенными газами
Травильные камеры, такие как Lam Kiyo и Aether, широко используют фторную/хлорную плазму, включая CF₄, Cl₂ и HBr. Стабильный пассивирующий слой AlF₃ образуется на поверхности оксида алюминия в условиях фторной плазмы, обеспечивая низкую скорость коррозии. В отличие от стали, он не подвержен отслаиванию и осыпанию частиц, вызванному плазмой. Нержавеющая сталь и подшипниковая сталь быстро корродируют и выходят из строя в средах с галогенной плазмой.
3. Высокая электроизоляция для предотвращения гальванической коррозии ВЧ (необходимо для камер с ВЧ-плазмой)
Травильные камеры работают в поле ВЧ-плазмы 13,56 МГц при высоком напряжении. Электропроводящие подшипники вызывают токи вала, электрические искры и электрическое питтинг, что приводит к быстрому выходу подшипника из строя и нарушению однородности плазмы. Оксид алюминия — отличный диэлектрик с удельным сопротивлением >10¹⁴ Ω·см. Его собственная изоляция блокирует ток вала и электростатический разряд ESD.
4. Возможность сухого хода и низкое газовыделение в условиях сверхвысокого вакуума
Камеры процессов поддерживают условия высокого вакуума (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Торр). Обычные смазки и масла выделяют летучие вещества, которые загрязняют камеру. Обладая высокой твердостью и благоприятными самосмазывающимися свойствами, оксид алюминия поддерживает безмасляную сухую работу трения, устраняя органические загрязнители и соответствуя спецификациям чистого вакуума.
5. Превосходная износостойкость, стабильность размеров и термическая стабильность
Его твердость по Виккерсу (HV ≈ 1500–1650) значительно выше, чем у подшипниковой стали. В сочетании с низким тепловым расширением он лучше сохраняет предварительный натяг и точность при термических циклах камеры, подходит для прецизионного позиционирования класса P4/P2 и стабильного длительного циклического движения.

Типы материалов:

1. Нитрид кремния (Si₃N₄): Золотой стандарт для керамических элементов. Он обладает более высокой ударной вязкостью, экстремальной твердостью и превосходной усталостной прочностью.
2. Диоксид циркония (ZrO₂): Часто более прочный и устойчивый к ударным нагрузкам, с тепловым расширением, более близким к стали.
3. Карбид кремния (SiC): Используется для невероятно высокотемпературных и высококоррозионных промышленных применений.

Характеристики:

ЭКСТРЕМАЛЬНАЯ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПРОЧНОСТЬ
При температурах выше 572 °F (300 °C) стандартные материалы из нержавеющей стали 440C и хромированной стали 52100 начинают терять свои механические свойства. Полностью керамические подшипники обладают преимуществом экстремальной высокотемпературной прочности до 1800 °F.

ЛЕГКИЙ ВЕС
Полностью керамические подшипники легкие. В применениях, где используется много подшипниковых узлов или используются большие размеры, это может помочь уменьшить общий вес конечного продукта. Снижение веса может уменьшить такие эффекты, как вибрация и напряжение, вызванные дисбалансом. Снижение веса в вращающихся узлах может увеличить скорость и эффективность.

НЕМАГНИТНЫЙ
Полностью керамические подшипники немагнитны и не вызывают помех в применениях, где присутствует сильное магнитное поле, например, при процессах с электронным пучком.

ЭКСТРЕМАЛЬНАЯ КОРРОЗИОННАЯ СТОЙКОСТЬ
Полностью керамические подшипники обладают высокой коррозионной стойкостью и выдерживают воздействие большинства распространенных кислот, они не подвержены коррозии при воздействии воды или соленой воды.

ИЗОЛИРУЮЩИЙ И НЕПРОВОДЯЩИЙ
Полностью керамические подшипники электрически непроводящие и теплоизолирующие.

Применение

• Медицинское и лабораторное оборудование: Хирургические инструменты, диагностические приборы, лабораторные прецизионные приборы, требующие немагнитных и высокочистых характеристик
• Электронное и полупроводниковое оборудование: Оборудование с магнитным полем, прецизионные автоматизированные модули, производственные помещения класса чистоты
• Высокоскоростная прецизионная автоматизация: Высокоскоростные двигатели, прецизионное трансмиссионное оборудование и миниатюрные механические системы