Etch Fab Ekipmanları için İnce Kesit 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm Alümina Seramik Bilyalı Rulmanlar

İnce Kesit Metrik 6706 Al2O3 30x37x4mm Alümina Seramik Bilyalı Rulmanlar 

6706 / 7706 Alümina Seramik Rulman

Seramik rulmanlar, özel elektriksel ve manyetik dirençleri, aşınma ve korozyon dirençleri, bakım gerektirmeyen yağlamaları, yüksek ve düşük sıcaklık dirençleri vb. ile mükemmel performans sunar. Bu nedenle zorlu ortamlarda ve özel koşullarda kullanıma uygundurlar.

Alümina Seramik Rulmanlar, yüksek yoğunluklu sinterleme ve ultra hassas taşlama işlemleriyle yüksek saflıkta alümina (Al₂O₃) seramikten üretilen, uygun maliyetli, yüksek hassasiyetli tam seramik bilyalı rulmanlardır. Olağanüstü sertlik, güvenilir kimyasal stabilite ve üstün elektriksel yalıtım özelliklerine sahip bu alümina rulmanlar, hafif ila orta yük hassasiyetli operasyonlar için profesyonelce tasarlanmıştır. Yüksek ekonomik ve pratik bir gelişmiş rulman çözümü olarak, geleneksel çelik rulmanların ve pahalı zirkonya seramik rulmanların yerini mükemmel bir şekilde alırlar, temiz, aşındırıcı, yalıtkan ve yüksek hassasiyetli endüstriyel çalışma senaryolarında yaygın olarak kullanılırlar.

6706 Tam Seramik Alüminyum Oksit Bilyalı Rulman, 30 mm iç çapı, 37 mm dış çapı ve 4 mm genişliği ile çeşitli endüstriyel ve ticari uygulamalarda yaygın olarak kullanılan standart bir rulman boyutuna sahiptir, Rulman Alümina Oksit Seramikten yapılmıştır.

Yüksek saflıkta alümina seramik hammaddeleri ve entegre yüksek sıcaklık sinterleme teknolojisi benimsenerek, alümina rulmanlar ultra yüksek yüzey sertliği, mükemmel yapısal rijitlik ve üstün boyutsal stabiliteye sahiptir. İnce ve yoğun iç mikro yapısı ile malzeme, güçlü basınç direnci, pürüzsüz yüzey kaplaması ve kararlı fiziksel ve kimyasal özellikler sunar. Mükemmel kapsamlı performansı ve maliyet avantajlarını dengeleyen alümina seramik, orta seviye hassas seramik rulmanlar için tercih edilen malzeme haline gelir ve ekipmanın uzun vadeli kararlı ve dayanıklı çalışmasını sağlar.

Temel Teknik Özellikler

1. Mükemmel Korozyon ve Kimyasal Direnç

Alümina seramik kimyasal olarak inerttir, çoğu asit, alkali, organik çözücü ve tuzlu su ortamlarından kaynaklanan erozyona direnir. Nemli, ıslak ve aşındırıcı çalışma koşullarında asla paslanmaz, oksitlenmez veya bozulmaz. Rulmanlar, kimyasal işlem, temizlik ve deniz ortamlarında uzun süreli sürekli çalışma sırasında tam yapısal bütünlüğü ve hassas dönme doğruluğunu koruyabilir.

2. Üstün Elektriksel Yalıtım Performansı

Mükemmel dielektrik dayanımı ve iletken olmayan özellikleri ile alümina seramik rulmanlar, akımı etkili bir şekilde izole eder, elektrik kaçağını önler ve statik birikimi engeller. Mil akımı hasarını, elektriksel paraziti ve girdap akımı kaybını tamamen önler, bu da onları yüksek voltajlı elektrikli ekipmanlar, yalıtımlı iletim sistemleri ve sıkı elektriksel izolasyon gerektiren elektronik hassas makineler için ideal hale getirir.

3. Ultra Yüksek Sertlik ve Aşınma Direnci

Aşırı Mohs sertliği ve güçlü basınç direnci ile öne çıkan alümina seramik, yüksek hızlı ve sürekli çalışma sırasında son derece düşük aşınma kaybına sahiptir. Hassas bir şekilde cilalanmış yatak yuvaları ve yüksek hassasiyetli seramik bilyalar, bileşen aşınmasını etkili bir şekilde azaltan, hizmet ömrünü uzatan ve ekipman bakım maliyetlerini düşüren düzgün, pürüzsüz ve kararlı bir dönüş sağlar.

4. Sıfır Kirlilik ve Temiz Çalışma

Metalik olmayan bir inorganik seramik malzeme olarak alümina seramik, çalışma sırasında metal talaşı, manyetik parçacık veya kimyasal çökelti üretmez. Temiz oda, gıda sınıfı ve farmasötik üretim standartlarına tam uyumludur, hammaddelere ve çalışma ortamlarına ikincil kirliliği etkili bir şekilde önler, yüksek saflıkta hassas üretim senaryolarına uygundur.

5. Üstün Yüksek Sıcaklık Kararlılığı

Malzeme, düşük bir termal genleşme katsayısına ve mükemmel yüksek sıcaklık direncine sahiptir, uzun süreli yüksek sıcaklık çalışma koşullarında kararlı boyutsal doğruluğu ve yapısal rijitliği korur. Termal deformasyona ve termal şoka direnir, kararlı çalışma performansı ile karmaşık ve değişken endüstriyel sıcaklık ortamlarına uyum sağlar.

Alümina Rulmanlar Neden Etcher'larda Kullanılır?

Dağlama işlemi ve Fab ekipmanları için, silikon nitrür (Si₃N₄) hibrit seramik rulmanlar yüksek hızlı iş millerinde ana akım tercihi olmaya devam etmektedir. Alümina (Al₂O₃) rulmanlar (tam seramik rulmanlar veya alümina yuvarlanma elemanlı rulmanlar) öncelikle halojen plazmaya maruz kalan işlem odasına yakın istasyonlarda, elektriksel yalıtımın ve ultra düşük kirliliğin zorunlu olduğu yerlerde konuşlandırılır. Tipik uygulamalar arasında wafer transfer robotları, oda kapıları, akış kontrol vanaları ve plazma bölgelerine yakın dönen mekanizmalar bulunur. Miller için tercih edilen seçenek değillerdir.

5 Temel Neden

1. Metalik iyon kirliliğini engelleme (en kritik faktör)
GCr15 çelik rulmanların aşınması, Fe, Cr ve Ni gibi ağır metal kirleticileri serbest bırakır. Wafer'lara bir kez yerleştiğinde, bu safsızlıklar doğrudan cihaz sızıntısına ve verim kaybına neden olur. Yüksek saflıkta Al₂O₃ (%99,9 sınıfı) neredeyse hiç hareketli metalik safsızlık içermez. Sürtünme sırasında oluşan aşınma kalıntıları, alümina tozudur ve dağlama işlemleri için flor/klor plazması altında metalik kalıntılardan çok daha düşük bir kirlilik riski taşır.
2. Plazma ve halojen gaz ortamlarına direnç
Lam Kiyo ve Aether gibi dağlama odaları, CF₄, Cl₂ ve HBr dahil olmak üzere flor/klor plazmasını yoğun olarak kullanır. Flor plazması altında alümina yüzeyinde kararlı bir AlF₃ pasivasyon tabakası oluşur, bu da düşük bir korozyon oranı sağlar. Çeliğin aksine, plazma kaynaklı soyulma ve parçacık dökülmesinden zarar görmez. Paslanmaz çelik ve rulman çeliği, halojen plazma ortamlarında hızla aşınır ve arızalanır.
3. RF galvanik korozyonu önlemek için yüksek elektriksel yalıtım (RF plazma odaları için gereklidir)
Dağlama odaları, yüksek voltajlı 13,56 MHz RF plazma alanında çalışır. Elektriksel olarak iletken rulmanlar, mil akımları, elektrik kıvılcımları ve elektriksel çukurluklar indükleyerek hızlı rulman arızasına ve plazma tekdüzeliğinin bozulmasına yol açar. Alümina, >10¹⁴ Ω·cm direncine sahip mükemmel bir dielektriktir. Doğal yalıtımı, mil akımını ve ESD elektrostatik deşarjını engeller.
4. Kuru çalışma kabiliyeti ve ultra yüksek vakum altında düşük gaz salınımı
İşlem odaları yüksek vakum koşullarını (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr) korur. Geleneksel gresler ve yağlar, odayı kirleten uçucu gaz salınımı üretir. Yüksek sertlik ve uygun kendi kendine yağlama özelliklerine sahip alümina, yağsız kuru sürtünme çalışmasını destekler, organik kirleticileri ortadan kaldırır ve temiz vakum spesifikasyonlarını karşılar.
5. Mükemmel aşınma direnci, boyutsal stabilite ve termal stabilite
Vickers sertliği (HV ≈ 1500–1650), rulman çeliğinden önemli ölçüde daha yüksektir. Düşük termal genleşme ile birleştiğinde, oda termal döngüsü altında ön yükü ve hassasiyeti daha iyi korur, P4/P2 sınıfı hassas konumlandırma ve kararlı uzun vadeli döngüsel hareket için uygundur.

Malzeme Türleri:

1.Silikon Nitrür (Si₃N₄): Seramik elemanlar için altın standarttır. Daha yüksek kırılma tokluğu, aşırı sertlik ve üstün yorulma direnci sunar.
2.Zirkonya (ZrO₂): Genellikle daha sert ve şok yüklere karşı daha dayanıklıdır, termal genleşme özellikleri çeliğe daha yakındır.
3.Silisyum Karbür (SiC): İnanılmaz derecede yüksek sıcaklık ve oldukça aşındırıcı endüstriyel uygulamalar için kullanılır.

Karakteristikler:

EKSTREM YÜKSEK SICAKLIK KABİLİYETİ
Sıcaklıklar 572 F'yi (300 C) aştığında, standart 440C paslanmaz çelik ve 52100 krom çelik malzemeler mekanik özelliklerini kaybetmeye başlar. Tam seramik rulmanlar, 1800 F'ye kadar aşırı yüksek sıcaklık kabiliyeti avantajına sahiptir.

HAFİF
Tam seramik rulmanlar hafiftir. Çok sayıda rulman ünitesi veya daha büyük boyutlar kullanan uygulamalarda, ürünün toplam ağırlığını azaltmaya yardımcı olabilir. Ağırlık azaltma, dengesiz uygulamalardan kaynaklanan titreşim ve gerilim gibi etkileri azaltabilir. Dönen tertibatlarda ağırlık azaltma, hız kabiliyetini ve verimliliği artırabilir.

MANYETİK DEĞİL
Tam seramik rulmanlar manyetik değildir ve elektron ışını işlemleri gibi güçlü manyetik alan maruziyetinin olduğu uygulamalarda parazite neden olmaz.

EKSTREM KOROZYON DİRENCİ
Tam seramik rulmanlar yüksek korozyon direncine sahiptir ve çoğu yaygın aside dayanır, su veya tuzlu suya maruz kaldığında paslanmaz.

YALITICI VE İLETKEN OLMAYAN
Tam seramik rulmanlar elektriksel olarak iletken değildir ve termal olarak yalıtkandır.

Uygulama

• Tıbbi ve Laboratuvar Ekipmanları: Cerrahi aletler, tespit cihazları, manyetik olmayan ve yüksek temizlik performansı gerektiren laboratuvar hassas aletleri
• Elektronik ve Yarı İletken Ekipmanları: Manyetik alan ekipmanları, hassas otomasyon modülleri, temiz oda üretim tesisleri
• Yüksek Hızlı Hassas Otomasyon: Yüksek hızlı motorlar, hassas iletim ekipmanları ve minyatürleştirilmiş mekanik sistemler