Phần mỏng 6706 7706 Al2O3 Vòng bi gốm Alumina 30x37x4mm cho thiết bị Etch Fab

Vòng bi gốm Alumina mỏng, Kích thước 6706 Al2O3 30x37x4mm Vòng bi gốm Alumina 

Vòng bi gốm Alumina 6706 / 7706

Vòng bi gốm có hiệu suất tuyệt vời với khả năng chống điện và từ tính đặc biệt, chống mài mòn và ăn mòn, bôi trơn không cần bảo trì, chịu nhiệt độ cao và thấp, v.v. Do đó, chúng phù hợp để sử dụng trong môi trường khắc nghiệt và điều kiện đặc biệt.

Vòng bi gốm Alumina là loại vòng bi lăn bi toàn gốm có độ chính xác cao, hiệu quả về chi phí, được sản xuất từ gốm Alumina (Al₂O₃) có độ tinh khiết cao thông qua các quy trình thiêu kết mật độ cao và mài siêu chính xác. Với độ cứng vượt trội, độ ổn định hóa học đáng tin cậy và khả năng cách điện vượt trội, các vòng bi Alumina này được thiết kế chuyên nghiệp cho các hoạt động chính xác tải nhẹ đến trung bình. Là một giải pháp vòng bi tiên tiến có tính kinh tế và thiết thực cao, chúng thay thế hoàn hảo các vòng bi thép truyền thống và vòng bi gốm Zirconia đắt tiền, được ứng dụng rộng rãi trong các tình huống làm việc công nghiệp sạch sẽ, ăn mòn, cách điện và có độ chính xác cao.

Vòng bi bi Alumina toàn gốm 6706, có đường kính trong 30mm, đường kính ngoài 37mm và chiều rộng 4mm, một kích thước vòng bi tiêu chuẩn thường được sử dụng trong nhiều ứng dụng công nghiệp và thương mại, Vòng bi được làm từ gốm Alumina Oxide.

Sử dụng nguyên liệu gốm Alumina có độ tinh khiết cao và công nghệ thiêu kết nhiệt độ cao tích hợp, vòng bi Alumina có độ cứng bề mặt siêu cao, độ cứng vững cấu trúc tuyệt vời và độ ổn định kích thước vượt trội. Với cấu trúc vi mô bên trong mịn và dày đặc, vật liệu mang lại khả năng chống nén mạnh mẽ, bề mặt hoàn thiện mịn màng và các đặc tính vật lý, hóa học ổn định. Cân bằng hiệu suất toàn diện tuyệt vời và lợi thế chi phí, gốm Alumina trở thành vật liệu được ưa chuộng cho vòng bi gốm chính xác tầm trung, đảm bảo hoạt động ổn định và bền lâu của thiết bị.

Các Tính năng Kỹ thuật Cốt lõi

1. Chống ăn mòn & Hóa chất tuyệt vời

Gốm Alumina có tính trơ về mặt hóa học, chống ăn mòn từ hầu hết các axit, kiềm, dung môi hữu cơ và môi trường nước muối. Nó không bao giờ bị gỉ, oxy hóa hoặc suy giảm trong điều kiện làm việc ẩm ướt, và ăn mòn. Các vòng bi có thể duy trì tính toàn vẹn cấu trúc hoàn chỉnh và độ chính xác quay chính xác trong quá trình hoạt động liên tục dài hạn trong các môi trường xử lý hóa chất, làm sạch và hàng hải.

2. Hiệu suất cách điện vượt trội

Với độ bền điện môi tuyệt vời và đặc tính không dẫn điện, vòng bi gốm Alumina cách ly dòng điện hiệu quả, ngăn ngừa rò rỉ điện và chặn tích tụ tĩnh điện. Chúng hoàn toàn tránh được hư hỏng do dòng điện trục, nhiễu điện và tổn thất dòng điện xoáy, làm cho chúng trở nên lý tưởng cho các thiết bị điện cao áp, hệ thống truyền tải cách điện và máy móc chính xác điện tử yêu cầu cách điện nghiêm ngặt.

3. Độ cứng siêu cao & Chống mài mòn

Với độ cứng Mohs cực cao và khả năng chống áp lực mạnh mẽ, gốm Alumina có tổn thất mài mòn cực thấp trong quá trình hoạt động liên tục tốc độ cao. Các rãnh bi được đánh bóng chính xác và các viên bi gốm có độ chính xác cao đảm bảo quay đều, mượt mà và ổn định, giảm hiệu quả mài mòn bộ phận, kéo dài tuổi thọ và giảm chi phí bảo trì thiết bị.

4. Không gây ô nhiễm & Hoạt động sạch sẽ

Là vật liệu gốm vô cơ phi kim loại, gốm Alumina không tạo ra mảnh vụn kim loại, hạt từ tính hoặc cặn hóa học trong quá trình hoạt động. Nó hoàn toàn tuân thủ các tiêu chuẩn sản xuất phòng sạch, cấp thực phẩm và dược phẩm, tránh hiệu quả ô nhiễm thứ cấp đối với nguyên liệu thô và môi trường làm việc, phù hợp với các tình huống sản xuất chính xác có độ tinh khiết cao.

5. Độ ổn định nhiệt độ cao vượt trội

Vật liệu có hệ số giãn nở nhiệt thấp và khả năng chịu nhiệt độ cao tuyệt vời, duy trì độ chính xác kích thước ổn định và độ cứng vững cấu trúc trong điều kiện làm việc nhiệt độ cao dài hạn. Nó chống biến dạng nhiệt và sốc nhiệt, thích ứng với môi trường nhiệt độ công nghiệp phức tạp và biến đổi với hiệu suất hoạt động ổn định.

Tại sao Vòng bi Alumina được sử dụng trong Máy khắc?

Đối với quy trình khắc và thiết bị Fab, vòng bi gốm lai Silicon Nitride (Si₃N₄) vẫn là lựa chọn phổ biến cho trục chính tốc độ cao. Vòng bi Alumina (vòng bi toàn gốm hoặc vòng bi có các bộ phận lăn bằng Alumina) chủ yếu được triển khai tại các trạm gần buồng xử lý tiếp xúc với plasma halogen, nơi yêu cầu cách điện và độ nhiễm bẩn cực thấp. Các ứng dụng điển hình bao gồm robot vận chuyển wafer, cổng buồng, van điều khiển lưu lượng và các cơ cấu quay gần vùng plasma. Chúng không phải là lựa chọn ưu tiên cho trục chính.

5 Lý do Cốt lõi

1. Ngăn chặn ô nhiễm ion kim loại (yếu tố quan trọng nhất)
Sự mài mòn của vòng bi thép GCr15 giải phóng các chất gây ô nhiễm kim loại nặng như Fe, Cr và Ni. Một khi lắng đọng trên wafer, các tạp chất này trực tiếp gây ra rò rỉ thiết bị và giảm năng suất. Al₂O₃ có độ tinh khiết cao (loại 99,9%) hầu như không chứa tạp chất kim loại di động. Các mảnh vụn mài mòn được tạo ra trong quá trình ma sát là bột Alumina, mang nguy cơ ô nhiễm thấp hơn nhiều so với mảnh vụn kim loại dưới plasma fluorine/chlorine cho các quy trình khắc.
2. Khả năng chống lại môi trường plasma và khí halogen
Các buồng khắc như Lam Kiyo và Aether sử dụng rộng rãi plasma fluorine/chlorine bao gồm CF₄, Cl₂ và HBr. Lớp thụ động AlF₃ ổn định hình thành trên bề mặt Alumina dưới plasma fluorine, mang lại tốc độ ăn mòn thấp. Không giống như thép, nó sẽ không bị bong tróc và rơi hạt do plasma gây ra. Thép không gỉ và thép vòng bi bị ăn mòn nhanh chóng và hỏng trong môi trường plasma halogen.
3. Cách điện cao để ngăn chặn ăn mòn galvanic RF (cần thiết cho buồng plasma RF)
Các buồng khắc hoạt động dưới trường plasma RF tần số 13,56 MHz điện áp cao. Vòng bi dẫn điện gây ra dòng điện trục, tia lửa điện và ăn mòn điện, dẫn đến hỏng vòng bi nhanh chóng và làm nhiễu loạn sự đồng nhất của plasma. Alumina là một chất điện môi tuyệt vời với điện trở suất >10¹⁴ Ω·cm. Khả năng cách điện vốn có của nó chặn dòng điện trục và phóng tĩnh điện ESD.
4. Khả năng chạy khô và phát thải khí thấp trong chân không siêu cao
Các buồng xử lý duy trì điều kiện chân không cao (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr). Mỡ và dầu thông thường tạo ra khí thải dễ bay hơi làm ô nhiễm buồng. Với độ cứng cao và đặc tính tự bôi trơn thuận lợi, Alumina hỗ trợ hoạt động ma sát khô không dầu, loại bỏ các chất gây ô nhiễm hữu cơ và đáp ứng các thông số kỹ thuật chân không sạch.
5. Khả năng chống mài mòn, ổn định kích thước và ổn định nhiệt độ tuyệt vời
Độ cứng Vickers của nó (HV ≈ 1500–1650) cao hơn đáng kể so với thép vòng bi. Kết hợp với hệ số giãn nở nhiệt thấp, nó giữ được độ ép trước và độ chính xác tốt hơn dưới chu kỳ nhiệt của buồng, phù hợp với định vị chính xác cấp P4/P2 và chuyển động chu kỳ ổn định dài hạn.

Các loại vật liệu:

1. Silicon Nitride (Si₃N₄): Tiêu chuẩn vàng cho các bộ phận gốm. Nó mang lại độ bền chống gãy cao hơn, độ cứng cực cao và khả năng chống mỏi vượt trội.
2. Zirconia (ZrO₂): Thường cứng hơn và đàn hồi hơn với tải trọng va đập, với các đặc tính giãn nở nhiệt gần giống với thép hơn.
3. Silicon Carbide (SiC): Được sử dụng cho các ứng dụng công nghiệp có nhiệt độ cực cao và ăn mòn cao.

Đặc tính:

KHẢ NĂNG CHỊU NHIỆT ĐỘ CỰC CAO
Khi nhiệt độ vượt quá 572 độ F (300 độ C), thép không gỉ 440C tiêu chuẩn và vật liệu thép chrome 52100 bắt đầu mất đi các đặc tính cơ học của chúng. Vòng bi toàn gốm có lợi thế về khả năng chịu nhiệt độ cực cao lên đến 1800 độ F.

TRỌNG LƯỢNG NHẸ
Vòng bi toàn gốm có trọng lượng nhẹ. Trong các ứng dụng sử dụng nhiều vòng bi hoặc sử dụng kích thước lớn hơn, điều này có thể giúp giảm tổng trọng lượng của sản phẩm. Giảm trọng lượng có thể làm giảm các hiệu ứng như rung động và ứng suất do các ứng dụng mất cân bằng gây ra. Giảm trọng lượng trong các cụm quay có thể tăng khả năng tốc độ và hiệu quả.

KHÔNG TỪ TÍNH
Vòng bi toàn gốm không có từ tính và sẽ không gây nhiễu trong các ứng dụng có từ trường mạnh như quy trình chùm electron.

KHẢ NĂNG CHỐNG ĂN MÒN CỰC CAO
Vòng bi toàn gốm có khả năng chống ăn mòn cao và chịu được hầu hết các axit thông thường, chúng sẽ không bị ăn mòn khi tiếp xúc với nước hoặc nước muối.

CÁCH ĐIỆN & KHÔNG DẪN ĐIỆN
Vòng bi toàn gốm không dẫn điện và cách nhiệt.

Ứng dụng

• Thiết bị Y tế & Phòng thí nghiệm: Dụng cụ phẫu thuật, thiết bị phát hiện, thiết bị phòng thí nghiệm chính xác yêu cầu hiệu suất không từ tính và độ sạch cao
• Thiết bị Điện tử & Bán dẫn: Thiết bị từ trường, mô-đun tự động hóa chính xác, cơ sở sản xuất phòng sạch
• Tự động hóa chính xác tốc độ cao: Động cơ tốc độ cao, thiết bị truyền động chính xác và hệ thống cơ khí thu nhỏ