قسم رقيق 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm محامل كروية سيراميك الألومينا لمعدات الحفر Fab
| اسم المنتج | محمل سيراميك Al2O3 كامل | مواد | أكسيد الزركونيا/نيتريد السيليكون/الألومينا |
|---|---|---|---|
| ميزة | منع تلوث الأيونات المعدنية | قفص | نظرة خاطفة/PTFE/نايلون/غير |
| تزييت | مشحم ذاتيا | مقاس | 30x37x4mm، حسب الطلب. |
| لون | أبيض أو رمادي أسود | نوع الختم | يفتح |
| عدد الصف | أعزب | دقة | P0~P6~P5 |
| عينة | متاح | طلب | مصنع التصنيع، محلات تصليح الآلات، مصنع الأغذية والمشروبات، المزارع |
مقياس المقطع الرقيق 6706 ألومينا 30x37x4 مم محامل كرات سيراميك الألومينا
6706 / 7706 محمل ألومينا سيراميك
تتمتع محامل السيراميك بأداء ممتاز بفضل مقاومتها الكهربائية والمغناطيسية الخاصة، ومقاومة التآكل والتآكل، وتشحيم خالٍ من الصيانة، ومقاومة درجات الحرارة العالية والمنخفضة، وما إلى ذلك. لذا فهي مناسبة للاستخدام في البيئات القاسية والظروف الخاصة.
محامل سيراميك الألومينا هي محامل كرات دوارة من السيراميك بالكامل عالية الدقة وفعالة من حيث التكلفة، مصنعة من سيراميك الألومينا عالي النقاء (Al₂O₃) عبر عمليات التلبيد عالي الكثافة والطحن فائق الدقة. تتميز هذه المحامل المصنوعة من الألومينا بصلابة استثنائية، واستقرار كيميائي موثوق، وعزل كهربائي فائق، وهي مصممة باحترافية للتشغيل الدقيق للأحمال الخفيفة إلى المتوسطة. كحل متقدم للمحامل اقتصادي وعملي للغاية، فإنها تحل محل محامل الفولاذ التقليدية ومحامل سيراميك الزركونيا باهظة الثمن، وهي قابلة للتطبيق على نطاق واسع في سيناريوهات العمل الصناعية النظيفة والمسببة للتآكل والعازلة وعالية الدقة.
محمل كرات ألومينا سيراميك بالكامل 6706، بأبعاد داخلية 30 مم، وقطر خارجي 37 مم، وعرض 4 مم، وهو حجم محمل قياسي يستخدم بشكل شائع في مجموعة متنوعة من التطبيقات الصناعية والتجارية، المحمل مصنوع من سيراميك أكسيد الألومينا.
![]()
![]()
لماذا تستخدم محامل الألومينا في أجهزة الحفر؟
بالنسبة لعمليات الحفر ومعدات المصانع، تظل محامل السيراميك الهجينة من نيتريد السيليكون (Si₃N₄) الخيار السائد للمغازل عالية السرعة. تُستخدم محامل الألومينا (محامل السيراميك بالكامل أو المحامل ذات عناصر الدوران من الألومينا) بشكل أساسي في المحطات القريبة من غرفة المعالجة المعرضة لبلازما الهالوجين، حيث يكون العزل الكهربائي والتلوث المنخفض للغاية إلزاميًا. تشمل التطبيقات النموذجية روبوتات نقل الرقائق، وبوابات الغرف، وصمامات التحكم في التدفق، وآليات الدوران بالقرب من مناطق البلازما. إنها ليست الخيار المفضل للمغازل.
5 أسباب أساسية
1. منع تلوث الأيونات المعدنية (العامل الأكثر أهمية)
يؤدي تآكل محامل فولاذ GCr15 إلى إطلاق ملوثات المعادن الثقيلة مثل الحديد والكروم والنيكل. بمجرد ترسبها على الرقائق، تسبب هذه الشوائب مباشرة تسرب الجهاز وفقدان الإنتاجية. يحتوي الألومينا عالي النقاء (درجة 99.9%) على شوائب معدنية متحركة قليلة جدًا. حطام التآكل الناتج عن الاحتكاك هو مسحوق الألومينا، والذي يحمل خطر تلوث أقل بكثير من الحطام المعدني تحت بلازما الفلور/الكلور لعمليات الحفر.
2. مقاومة بيئات البلازما وغاز الهالوجين
تستخدم غرف الحفر مثل Lam Kiyo و Aether على نطاق واسع بلازما الفلور/الكلور بما في ذلك CF₄ و Cl₂ و HBr. تتشكل طبقة خاملة مستقرة من AlF₃ على سطح الألومينا تحت بلازما الفلور، مما يوفر معدل تآكل منخفض. على عكس الفولاذ، لن يعاني من التقشير وتناثر الجسيمات الناجم عن البلازما. يتآكل الفولاذ المقاوم للصدأ وفولاذ المحامل بسرعة ويفشل في بيئات بلازما الهالوجين.
3. عزل كهربائي عالي لمنع التآكل الجلفاني بالترددات الراديوية (ضروري لغرف بلازما الترددات الراديوية)
تعمل غرف الحفر تحت مجال بلازما الترددات الراديوية عالي الجهد 13.56 ميجاهرتز. تتسبب المحامل الموصلة كهربائيًا في تيارات العمود، والشرر الكهربائي، والتآكل الكهربائي، مما يؤدي إلى فشل سريع للمحامل واضطراب في تجانس البلازما. الألومينا عازل ممتاز بمقاومة >10¹⁴ Ω·سم. يمنع عزله المتأصل تيار العمود وتفريغ الشحنات الكهروستاتيكية.
4. القدرة على التشغيل الجاف وانبعاثات منخفضة تحت فراغ فائق
تحافظ غرف العمليات على ظروف فراغ عالية (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr). تنتج الشحوم والزيوت التقليدية انبعاثات متطايرة تلوث الغرفة. بفضل صلابته العالية وخصائصه التشحيمية الذاتية الجيدة، يدعم الألومينا التشغيل الاحتكاكي الجاف الخالي من الزيت، مما يلغي الملوثات العضوية ويلبي مواصفات الفراغ النظيف.
5. مقاومة تآكل ممتازة، واستقرار الأبعاد، واستقرار حراري
صلابته فيكرز (HV ≈ 1500-1650) أعلى بكثير من فولاذ المحامل. جنبًا إلى جنب مع التمدد الحراري المنخفض، فإنه يحافظ على التحميل المسبق والدقة بشكل أفضل تحت دورات الحرارة في الغرفة، وهو مناسب لمواضع الدقة من الدرجة P4/P2 والحركة الدورية المستقرة طويلة الأمد.
![]()
أنواع المواد:
1. نيتريد السيليكون (Si₃N₄): المعيار الذهبي للعناصر السيراميكية. يوفر صلابة كسر أعلى، وصلابة قصوى، ومقاومة إجهاد فائقة.
2. الزركونيا (ZrO₂): غالبًا ما تكون أكثر صلابة وأكثر مرونة لأحمال الصدمات، مع خصائص تمدد حراري تشبه الفولاذ بشكل وثيق.
3. كربيد السيليكون (SiC): يستخدم للتطبيقات الصناعية ذات درجات الحرارة العالية للغاية والتآكل الشديد.
الخصائص:
قدرة تحمل درجات الحرارة العالية للغاية
عندما تتجاوز درجات الحرارة 572 درجة فهرنهايت (300 درجة مئوية)، تبدأ مواد الفولاذ المقاوم للصدأ 440C والفولاذ الكروم 52100 القياسية في فقدان خصائصها الميكانيكية. تتمتع محامل السيراميك بالكامل بميزة القدرة على تحمل درجات الحرارة العالية للغاية حتى 1800 درجة فهرنهايت.
خفيف الوزن
محامل السيراميك بالكامل خفيفة الوزن. في التطبيقات التي تستخدم العديد من وحدات المحامل أو تستخدم أحجامًا أكبر، يمكن أن يساعد ذلك في تقليل الوزن الإجمالي للمنتج. يمكن أن يؤدي تقليل الوزن إلى تقليل التأثيرات مثل الاهتزاز والإجهاد الناتج عن التطبيقات غير المتوازنة. يمكن أن يؤدي تقليل الوزن في التجميعات الدوارة إلى زيادة قدرة السرعة والكفاءة.
غير مغناطيسي
محامل السيراميك بالكامل غير مغناطيسية ولن تسبب تداخلًا في التطبيقات التي تتعرض فيها لمجال مغناطيسي قوي مثل عمليات الحزم الإلكترونية.
مقاومة تآكل قصوى
محامل السيراميك بالكامل مقاومة للتآكل بدرجة عالية وستتحمل معظم الأحماض الشائعة، ولن تتآكل عند تعرضها للماء أو المياه المالحة.
عازل وغير موصل
محامل السيراميك بالكامل غير موصلة كهربائيًا وعازلة حراريًا.
التطبيق
-
المعدات الطبية والمختبرية: الأدوات الجراحية، وأجهزة الكشف، وأدوات المختبر الدقيقة التي تتطلب أداءً غير مغناطيسي وعالي النقاء
-
المعدات الإلكترونية وأشباه الموصلات: معدات المجال المغناطيسي، ووحدات الأتمتة الدقيقة، ومرافق الإنتاج في غرف الأبحاث
-
الأتمتة الدقيقة عالية السرعة: المحركات عالية السرعة، ومعدات النقل الدقيقة، والأنظمة الميكانيكية المصغرة
![]()
