Dunne sectie 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm aluminiumoxide keramische kogellagers voor Etch Fab-apparatuur

Dunne Sectie Metric 6706 Al2O3 30x37x4mm Aluminium Keramische Kogellagers 

6706 / 7706 Aluminium Keramische Lagers

Keramische lagers hebben uitstekende prestaties met hun speciale elektrische en magnetische weerstand, slijtage- en corrosiebestendigheid, onderhoudsvrije smering, weerstand tegen hoge en lage temperaturen, enz. Ze zijn daarom geschikt voor gebruik in zware omgevingen en speciale omstandigheden.

Aluminium Keramische Lagers zijn kosteneffectieve, uiterst nauwkeurige volledig keramische kogellagers, vervaardigd uit hoogzuiver aluminiumoxide (Al₂O₃) keramiek via sinteren met hoge dichtheid en ultraschuurprocessen. Met uitzonderlijke hardheid, betrouwbare chemische stabiliteit en superieure elektrische isolatie, zijn deze aluminium lagers professioneel ontworpen voor precisie-toepassingen met lichte tot middelzware belasting. Als een zeer economische en praktische geavanceerde lageroplossing vervangen ze perfect traditionele stalen lagers en dure zirkoniumkeramische lagers, breed toepasbaar in schone, corrosieve, isolerende en uiterst nauwkeurige industriële werkomgevingen.

6706 Volledig Keramische Aluminiumoxide Kogellager, met een binnendiameter van 30 mm, buitendiameter van 37 mm en breedte van 4 mm, een standaard lagermaat die veel wordt gebruikt in diverse industriële en commerciële toepassingen, Lager is gemaakt van Aluminiumoxide Keramiek.

Door gebruik te maken van hoogzuivere aluminiumoxide keramische grondstoffen en geïntegreerde sintertechnologie op hoge temperatuur, bezitten de aluminium lagers een extreem hoge oppervlaktehardheid, uitstekende structurele stijfheid en uitstekende dimensionale stabiliteit. Met een fijne en dichte interne microstructuur levert het materiaal sterke drukbestendigheid, een glad oppervlak en stabiele fysische en chemische eigenschappen. Door een uitstekende algehele prestatie en kostenvoordelen te combineren, wordt aluminiumoxide keramiek het voorkeursmateriaal voor middelgrote precisie keramische lagers, wat zorgt voor een stabiele en duurzame werking van apparatuur op lange termijn.

Kern Technische Kenmerken

1. Uitstekende Corrosie- en Chemische Bestendigheid

Aluminiumoxide keramiek is chemisch inert en bestand tegen de meeste zuren, logen, organische oplosmiddelen en zoutwateromgevingen. Het roest, oxideert of degradeert nooit in vochtige, natte en corrosieve werkomstandigheden. De lagers kunnen de volledige structurele integriteit en nauwkeurige rotatieprecisie behouden tijdens langdurige continue werking in chemische verwerkings-, reinigings- en maritieme omgevingen.

2. Superieure Elektrische Isolatieprestaties

Met uitstekende diëlektrische sterkte en niet-geleidende eigenschappen isoleren aluminiumoxide keramische lagers effectief stroom, voorkomen ze elektrische lekkage en blokkeren ze statische accumulatie. Ze vermijden volledig schade door asstroom, elektrische interferentie en wervelstroomverlies, waardoor ze ideaal zijn voor hoogspanningsapparatuur, geïsoleerde transmissiesystemen en precisie-elektronische machines die strikte elektrische isolatie vereisen.

3. Extreem Hoge Hardheid en Slijtvastheid

Met extreme Mohs-hardheid en sterke drukbestendigheid, vertoont aluminiumoxide keramiek extreem laag slijtageverlies tijdens snelle en continue werking. De nauwkeurig gepolijste loopbanen en uiterst nauwkeurige keramische kogels zorgen voor een uniforme, soepele en stabiele rotatie, waardoor de slijtage van componenten effectief wordt verminderd, de levensduur wordt verlengd en de onderhoudskosten van apparatuur worden verlaagd.

4. Nul Contaminatie en Schone Werking

Als een niet-metalen anorganisch keramisch materiaal produceert aluminiumoxide keramiek geen metaaldeeltjes, magnetische deeltjes of chemische neerslagen tijdens bedrijf. Het voldoet volledig aan de normen voor cleanrooms, voedselkwaliteit en farmaceutische productie, en vermijdt effectief secundaire vervuiling van grondstoffen en werkomgevingen, geschikt voor precisieproductiescenario's met hoge zuiverheid.

5. Uitstekende Hoge Temperatuur Stabiliteit

Het materiaal heeft een lage thermische uitzettingscoëfficiënt en uitstekende weerstand tegen hoge temperaturen, en behoudt stabiele dimensionale nauwkeurigheid en structurele stijfheid onder langdurige hoge temperatuur werkomstandigheden. Het is bestand tegen thermische vervorming en thermische schokken, en past zich aan complexe en variabele industriële temperatuuromgevingen aan met stabiele operationele prestaties.

Waarom worden Aluminium Lagers gebruikt in Etchers?

Voor etsprocessen en Fab-apparatuur blijven siliciumnitride (Si₃N₄) hybride keramische lagers de mainstream keuze voor hogesnelheidsspindels. Aluminiumoxide (Al₂O₃) lagers (volledig keramische lagers of lagers met aluminiumoxide rol-elementen) worden voornamelijk ingezet bij stations dicht bij de proceskamer die worden blootgesteld aan halogeenplasma, waar elektrische isolatie en ultra-lage contaminatie verplicht zijn. Typische toepassingen zijn wafertransferrobots, kamerpoorten, flow control kleppen en roterende mechanismen nabij plasmazones. Ze zijn niet de voorkeursoptie voor spindels.

5 Kernredenen

1. Blokkering van metaalionencontaminatie (de meest kritieke factor)
Slijtage van GCr15 stalen lagers geeft zware metaalverontreinigingen zoals Fe, Cr en Ni af. Eenmaal afgezet op wafers, veroorzaken deze onzuiverheden direct apparaatlekkage en opbrengstverlies. Hoogzuiver Al₂O₃ (99,9% graad) bevat bijna geen mobiele metaalverontreinigingen. Het slijtageafval dat tijdens wrijving wordt gegenereerd, is aluminiumoxidepoeder, dat een veel lager contaminatierisico met zich meebrengt dan metaalafval onder fluor/chloorplasma voor etsprocessen.
2. Weerstand tegen plasma- en halogeengasomgevingen
Etchkamers zoals Lam Kiyo en Aether gebruiken uitgebreid fluor/chloorplasma, waaronder CF₄, Cl₂ en HBr. Een stabiele AlF₃ passivatielaag vormt zich op het aluminiumoxide-oppervlak onder fluorplasma, wat resulteert in een lage corrosiesnelheid. In tegenstelling tot staal zal het geen plasma-geïnduceerde peeling en deeltjesafscheiding ondergaan. Roestvrij staal en lagerstaal corroderen snel en falen in halogeenplasmaomgevingen.
3. Hoge elektrische isolatie om RF galvanische corrosie te voorkomen (essentieel voor RF plasma kamers)
Etchkamers werken onder een hoogspannings 13,56 MHz RF plasmaveld. Elektrisch geleidende lagers veroorzaken asstromen, elektrische vonken en elektrische putcorrosie, wat leidt tot snelle lageruitval en verstoring van de plasma-uniformiteit. Aluminiumoxide is een uitstekend diëlektricum met een weerstand van >10¹⁴ Ω·cm. De inherente isolatie blokkeert asstroom en ESD elektrostatische ontlading.
4. Droogloopcapaciteit en lage ontgassing onder ultra-hoog vacuüm
Proceskamers handhaven hoge vacuümcondities (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr). Conventionele vetten en oliën produceren vluchtige ontgassing die de kamer vervuilt. Met hoge hardheid en gunstige zelf-smerende eigenschappen ondersteunt aluminiumoxide olievrije droge wrijvingswerking, waardoor organische verontreinigingen worden geëlimineerd en schone vacuüm specificaties worden gehaald.
5. Uitstekende slijtvastheid, dimensionale stabiliteit en thermische stabiliteit
De Vickers-hardheid (HV ≈ 1500–1650) is aanzienlijk hoger dan die van lagerstaal. Gecombineerd met een lage thermische uitzetting, behoudt het de voorspanning en precisie beter onder thermische cycli in de kamer, geschikt voor P4/P2-klasse precisiepositionering en stabiele langdurige cyclische beweging.

Materiaaltypen:

1. Siliciumnitride (Si₃N₄): De gouden standaard voor keramische elementen. Het biedt hogere breuktaaiheid, extreme hardheid en superieure vermoeiingsweerstand.
2. Zirkoniumoxide (ZrO₂): Vaak taaier en veerkrachtiger tegen schokbelastingen, met thermische uitzettingseigenschappen die meer overeenkomen met staal.
3. Siliciumcarbide (SiC): Gebruikt voor ongelooflijk hoge temperaturen en zeer corrosieve industriële toepassingen.

Kenmerken:

EXTREEM HOGE TEMPERATUUR CAPACITEIT
Wanneer temperaturen 572 °F (300 °C) overschrijden, beginnen standaard 440C roestvrij staal en 52100 chroomstaal materialen hun mechanische eigenschappen te verliezen. Volledig keramische lagers hebben het voordeel van extreme hoge temperatuur capaciteit tot 1800 °F.

LICHTGEWICHT
Volledig keramische lagers zijn lichtgewicht. In toepassingen met veel lagereenheden of grotere maten kan dit helpen het totale gewicht van het eindproduct te verminderen. Gewichtreductie kan effecten zoals trillingen en stress veroorzaakt door ongebalanceerde toepassingen verminderen. Gewichtreductie in roterende assemblages kan de snelheidsmogelijkheden en efficiëntie verhogen.

NIET-MAGNETISCH
Volledig keramische lagers zijn niet-magnetisch en veroorzaken geen interferentie in toepassingen waar blootstelling aan sterke magnetische velden is, zoals bij elektronenbundelprocessen.

EXTREME CORROSIEBESTENDIGHEID
Volledig keramische lagers zijn zeer corrosiebestendig en bestand tegen de meeste gangbare zuren, ze corroderen niet bij blootstelling aan water of zout water.

ISOLEREND & NIET-GELEIDEND
Volledig keramische lagers zijn elektrisch niet-geleidend en thermisch isolerend.

Toepassing

• Medische & Laboratoriumapparatuur: Chirurgische instrumenten, detectieapparaten, precisielaboratoriuminstrumenten die niet-magnetische en hoge reinheidsprestaties vereisen
• Elektronische & Halfgeleiderapparatuur: Magnetische veldapparatuur, precisie automatiseringsmodules, cleanroom productiefaciliteiten
• Hogesnelheid Precisie Automatisering: Hogesnelheidsmotoren, precisietransmissieapparatuur en geminiaturiseerde mechanische systemen