บางส่วน 6706 7706 Al2O3 30x37x4 มม. ตลับลูกปืนเซรามิกอลูมินาสำหรับอุปกรณ์ Etch Fab

ตลับลูกปืนเซรามิกอลูมินาบางพิเศษ 6706 Al2O3 30x37x4 มม.

ตลับลูกปืนอลูมินา 6706 / 7706

ตลับลูกปืนเซรามิกมีประสิทธิภาพยอดเยี่ยมด้วยคุณสมบัติพิเศษในการทนต่อไฟฟ้าและแม่เหล็ก ทนต่อการสึกหรอและการกัดกร่อน หล่อลื่นโดยไม่ต้องบำรุงรักษา ทนต่ออุณหภูมิสูงและต่ำ ฯลฯ ดังนั้นจึงเหมาะสำหรับใช้ในสภาพแวดล้อมที่สมบุกสมบันและสภาวะพิเศษ

ตลับลูกปืนเซรามิกอลูมินาเป็นตลับลูกปืนเม็ดกลมแบบเซรามิกล้วนที่มีความแม่นยำสูงและคุ้มค่า ผลิตจากอลูมินาบริสุทธิ์สูง (Al₂O₃) ผ่านกระบวนการเผาผนึกความหนาแน่นสูงและการเจียระไนความแม่นยำสูง ด้วยความแข็งเป็นพิเศษ ความเสถียรทางเคมีที่เชื่อถือได้ และฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า ตลับลูกปืนอลูมินาเหล่านี้ได้รับการออกแบบอย่างมืออาชีพสำหรับการใช้งานที่ต้องการความแม่นยำภายใต้ภาระเบาถึงปานกลาง ในฐานะโซลูชันตลับลูกปืนขั้นสูงที่ประหยัดและใช้งานได้จริง จึงสามารถทดแทนตลับลูกปืนเหล็กแบบดั้งเดิมและตลับลูกปืนเซรามิกเซอร์โคเนียราคาแพงได้อย่างสมบูรณ์แบบ เหมาะอย่างยิ่งสำหรับสถานการณ์การทำงานในอุตสาหกรรมที่ต้องการความสะอาด การกัดกร่อน การเป็นฉนวน และความแม่นยำสูง

ตลับลูกปืนเม็ดกลมอลูมิเนียมออกไซด์เซรามิกล้วน 6706 มีขนาดเส้นผ่านศูนย์กลางภายใน 30 มม. เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 37 มม. และความกว้าง 4 มม. เป็นขนาดตลับลูกปืนมาตรฐานที่ใช้กันทั่วไปในการใช้งานอุตสาหกรรมและเชิงพาณิชย์ต่างๆ ตลับลูกปืนทำจากเซรามิกอลูมิเนียมออกไซด์

ด้วยการใช้วัตถุดิบเซรามิกอลูมินาบริสุทธิ์สูงและเทคโนโลยีการเผาผนึกที่อุณหภูมิสูงแบบบูรณาการ ตลับลูกปืนอลูมินาจึงมีความแข็งพื้นผิวสูงเป็นพิเศษ ความแข็งแกร่งของโครงสร้างที่ยอดเยี่ยม และความเสถียรของมิติที่โดดเด่น ด้วยโครงสร้างจุลภาคภายในที่ละเอียดและหนาแน่น วัสดุนี้จึงมีความต้านทานแรงอัดสูง พื้นผิวเรียบ และคุณสมบัติทางกายภาพและเคมีที่เสถียร การสร้างสมดุลระหว่างประสิทธิภาพที่ครอบคลุมที่ยอดเยี่ยมและข้อได้เปรียบด้านต้นทุน ทำให้อลูมินาเซรามิกกลายเป็นวัสดุที่เลือกใช้สำหรับตลับลูกปืนเซรามิกความแม่นยำระดับกลาง เพื่อให้มั่นใจถึงการทำงานที่เสถียรและทนทานในระยะยาวของอุปกรณ์

คุณสมบัติทางเทคนิคหลัก

1. ทนทานต่อการกัดกร่อนและสารเคมีได้ดีเยี่ยม

อลูมินาเซรามิกมีความเฉื่อยทางเคมี ทนทานต่อการกัดเซาะจากกรด ด่าง ตัวทำละลายอินทรีย์ และสภาพแวดล้อมน้ำเค็มส่วนใหญ่ ไม่เคยเป็นสนิม ออกซิไดซ์ หรือเสื่อมสภาพในสภาวะการทำงานที่ชื้น เปียก และกัดกร่อน ตลับลูกปืนสามารถรักษาความสมบูรณ์ของโครงสร้างและความแม่นยำในการหมุนที่แม่นยำได้อย่างสมบูรณ์ระหว่างการทำงานต่อเนื่องระยะยาวในกระบวนการทางเคมี การทำความสะอาด และสภาพแวดล้อมทางทะเล

2. ประสิทธิภาพฉนวนไฟฟ้าที่เหนือกว่า

ด้วยความแข็งแรงของฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยมและคุณสมบัติไม่นำไฟฟ้า ตลับลูกปืนอลูมินาเซรามิกสามารถแยกกระแสไฟฟ้าได้อย่างมีประสิทธิภาพ ป้องกันการรั่วไหลของไฟฟ้า และป้องกันการสะสมประจุไฟฟ้าสถิต ช่วยหลีกเลี่ยงความเสียหายจากกระแสไฟฟ้าที่แกนหมุน การรบกวนทางไฟฟ้า และการสูญเสียกระแสไหลวนได้อย่างสมบูรณ์ ทำให้เหมาะสำหรับอุปกรณ์ไฟฟ้าแรงสูง ระบบส่งกำลังฉนวน และเครื่องจักรความแม่นยำอิเล็กทรอนิกส์ที่ต้องการการแยกทางไฟฟ้าที่เข้มงวด

3. ความแข็งสูงพิเศษและความทนทานต่อการสึกหรอ

ด้วยความแข็งระดับ Mohs สูงสุดและความต้านทานแรงกดที่แข็งแกร่ง อลูมินาเซรามิกมีการสูญเสียการเสียดสีต่ำมากระหว่างการทำงานด้วยความเร็วสูงและต่อเนื่อง รางลูกปืนที่ขัดเงาอย่างแม่นยำและเม็ดลูกปืนเซรามิกความแม่นยำสูงช่วยให้การหมุนสม่ำเสมอ เรียบ และเสถียร ช่วยลดการสึกหรอของส่วนประกอบได้อย่างมีประสิทธิภาพ ยืดอายุการใช้งาน และลดต้นทุนการบำรุงรักษาอุปกรณ์

4. ไม่ก่อให้เกิดมลพิษและการทำงานที่สะอาด

ในฐานะวัสดุเซรามิกอนินทรีย์ที่ไม่ใช่โลหะ อลูมินาเซรามิกไม่ก่อให้เกิดเศษโลหะ อนุภาคแม่เหล็ก หรือสารตกค้างทางเคมีระหว่างการทำงาน เป็นไปตามมาตรฐานการผลิตห้องคลีนรูม เกรดอาหาร และเภสัชกรรมอย่างสมบูรณ์ ช่วยหลีกเลี่ยงมลพิษทุติยภูมิต่อวัตถุดิบและสภาพแวดล้อมการทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ เหมาะสำหรับสถานการณ์การผลิตความแม่นยำสูง

5. ความเสถียรที่อุณหภูมิสูงเป็นพิเศษ

วัสดุมีค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อนต่ำและความทนทานต่ออุณหภูมิสูงที่ยอดเยี่ยม รักษาความแม่นยำของมิติและความแข็งแกร่งของโครงสร้างให้เสถียรภายใต้สภาวะการทำงานที่อุณหภูมิสูงเป็นเวลานาน ทนทานต่อการเสียรูปจากความร้อนและการช็อกด้วยความร้อน ปรับให้เข้ากับสภาพแวดล้อมอุณหภูมิอุตสาหกรรมที่ซับซ้อนและแปรปรวนด้วยประสิทธิภาพการทำงานที่เสถียร

เหตุใดจึงใช้ตลับลูกปืนอลูมินาในเครื่องสลัก?

สำหรับกระบวนการสลักและอุปกรณ์ Fab ตลับลูกปืนเซรามิกไฮบริดซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄) ยังคงเป็นตัวเลือกหลักสำหรับแกนหมุนความเร็วสูง ตลับลูกปืนอลูมินา (ตลับลูกปืนเซรามิกล้วนหรือตลับลูกปืนที่มีเม็ดลูกปืนอลูมินา) ส่วนใหญ่จะถูกติดตั้งที่สถานีใกล้กับห้องประมวลผลที่สัมผัสกับพลาสม่าฮาโลเจน ซึ่งจำเป็นต้องมีฉนวนไฟฟ้าและการปนเปื้อนต่ำเป็นพิเศษ การใช้งานทั่วไป ได้แก่ หุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์ ประตูห้องวาล์วควบคุมการไหล และกลไกหมุนใกล้โซนพลาสม่า ไม่ใช่ตัวเลือกที่ต้องการสำหรับแกนหมุน

5 เหตุผลหลัก

1. การป้องกันการปนเปื้อนจากไอออนโลหะ (ปัจจัยสำคัญที่สุด)การสึกหรอของตลับลูกปืนเหล็ก GCr15 จะปล่อยสารปนเปื้อนโลหะหนัก เช่น Fe, Cr และ Ni เมื่อสารเหล่านี้สะสมบนเวเฟอร์ สิ่งเจือปนเหล่านี้จะทำให้เกิดการรั่วไหลของอุปกรณ์และการสูญเสียผลผลิตโดยตรง Al₂O₃ บริสุทธิ์สูง (เกรด 99.9%) แทบไม่มีสิ่งเจือปนโลหะที่เคลื่อนที่ได้ เศษสึกหรอที่เกิดจากการเสียดสีคือผงอลูมินา ซึ่งมีความเสี่ยงต่อการปนเปื้อนต่ำกว่าเศษโลหะภายใต้พลาสม่าฟลูออรีน/คลอรีนสำหรับกระบวนการสลัก
2. ทนทานต่อสภาพแวดล้อมพลาสม่าและก๊าซฮาโลเจน
ห้องสลัก เช่น Lam Kiyo และ Aether ใช้พลาสม่าฟลูออรีน/คลอรีนอย่างกว้างขวาง รวมถึง CF₄, Cl₂ และ HBr ชั้นพาสซิเวชัน AlF₃ ที่เสถียรจะก่อตัวขึ้นบนพื้นผิวอลูมินาภายใต้พลาสม่าฟลูออรีน ทำให้มีอัตราการกัดกร่อนต่ำ ต่างจากเหล็ก จะไม่เกิดการลอกหลุดและการหลุดร่วงของอนุภาคที่เกิดจากพลาสม่า เหล็กกล้าไร้สนิมและเหล็กตลับลูกปืนจะสึกกร่อนอย่างรวดเร็วและล้มเหลวในสภาพแวดล้อมพลาสม่าฮาโลเจน3. ฉนวนไฟฟ้าสูงเพื่อป้องกันการกัดกร่อนแบบกัลวานิก RF (จำเป็นสำหรับห้องพลาสม่า RF)
ห้องสลักทำงานภายใต้สนามพลาสม่า RF 13.56 MHz แรงดันสูง ตลับลูกปืนที่นำไฟฟ้าจะเหนี่ยวนำให้เกิดกระแสไฟฟ้าที่แกนหมุน ประกายไฟ และการกัดกร่อนเป็นหลุมจากไฟฟ้า ซึ่งนำไปสู่ความล้มเหลวของตลับลูกปืนอย่างรวดเร็วและการรบกวนความสม่ำเสมอของพลาสม่า อลูมินาเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม มีความต้านทานไฟฟ้า >10¹⁴ Ω·cm ฉนวนโดยธรรมชาติของมันจะปิดกั้นกระแสไฟฟ้าที่แกนหมุนและการคายประจุไฟฟ้าสถิต ESD
4. ความสามารถในการทำงานแบบแห้งและการปล่อยก๊าซต่ำภายใต้สุญญากาศสูงพิเศษห้องประมวลผลจะรักษาสภาพสุญญากาศสูง (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr) จาระบีและน้ำมันทั่วไปจะปล่อยก๊าซระเหยออกมาซึ่งปนเปื้อนห้อง ด้วยความแข็งสูงและคุณสมบัติการหล่อลื่นตัวเองที่ดี อลูมินาจึงรองรับการทำงานแบบเสียดสีแห้งโดยไม่ต้องใช้น้ำมัน ขจัดสารปนเปื้อนอินทรีย์ และเป็นไปตามข้อกำหนดสุญญากาศที่สะอาด
5. ความทนทานต่อการสึกหรอ ความเสถียรของมิติ และความเสถียรทางความร้อนที่ยอดเยี่ยม
ความแข็งแบบ Vickers (HV ≈ 1500–1650) สูงกว่าเหล็กตลับลูกปืนอย่างมาก เมื่อรวมกับการขยายตัวทางความร้อนต่ำ จะช่วยรักษาพรีโหลดและความแม่นยำได้ดีขึ้นภายใต้การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิของห้อง เหมาะสำหรับการวางตำแหน่งที่แม่นยำเกรด P4/P2 และการเคลื่อนที่แบบวงจรที่เสถียรในระยะยาวประเภทวัสดุ:
1. ซิลิคอนไนไตรด์ (Si₃N₄): มาตรฐานทองคำสำหรับชิ้นส่วนเซรามิก ให้ความเหนียวในการแตกหักสูงขึ้น ความแข็งสูงพิเศษ และความทนทานต่อความล้าที่เหนือกว่า
2. เซอร์โคเนีย (ZrO₂): มักจะแข็งแกร่งและทนทานต่อแรงกระแทกได้ดีกว่า มีคุณสมบัติการขยายตัวทางความร้อนที่ใกล้เคียงกับเหล็กมากขึ้น3. ซิลิคอนคาร์ไบด์ (SiC): ใช้สำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมที่อุณหภูมิสูงมากและมีการกัดกร่อนสูงมาก
คุณสมบัติ:

ความสามารถในการทนอุณหภูมิสูงมาก

เมื่ออุณหภูมิเกิน 572 องศาฟาเรนไฮต์ (300 องศาเซลเซียส) วัสดุเหล็กกล้าไร้สนิม 440C และเหล็กโครม 52100 มาตรฐานจะเริ่มสูญเสียคุณสมบัติทางกล ตลับลูกปืนเซรามิกล้วนมีข้อได้เปรียบด้านความสามารถในการทนอุณหภูมิสูงมากถึง 1800 องศาฟาเรนไฮต์
น้ำหนักเบา
ตลับลูกปืนเซรามิกล้วนมีน้ำหนักเบา ในการใช้งานที่ใช้ตลับลูกปืนหลายตัวหรือใช้ขนาดใหญ่ สามารถช่วยลดน้ำหนักรวมของผลิตภัณฑ์โดยรวมได้ การลดน้ำหนักสามารถลดผลกระทบ เช่น การสั่นสะเทือนและความเค้นที่เกิดจากการใช้งานที่ไม่สมดุล การลดน้ำหนักในชุดประกอบที่หมุนได้สามารถเพิ่มความสามารถในการหมุนและความเร็วและประสิทธิภาพ

ไม่เป็นแม่เหล็ก

ตลับลูกปืนเซรามิกล้วนไม่เป็นแม่เหล็กและจะไม่ก่อให้เกิดการรบกวนในการใช้งานที่มีสนามแม่เหล็กแรงสูง เช่น กระบวนการลำแสงอิเล็กตรอน
ทนทานต่อการกัดกร่อนสูง

ตลับลูกปืนเซรามิกล้วนทนทานต่อการกัดกร่อนสูงและสามารถทนต่อกรดส่วนใหญ่ได้ จะไม่เกิดสนิมเมื่อสัมผัสกับน้ำหรือน้ำเค็ม
แยกและไม่นำไฟฟ้า

ตลับลูกปืนเซรามิกล้วนไม่นำไฟฟ้าและเป็นฉนวนความร้อน
การใช้งาน

อุปกรณ์ทางการแพทย์และห้องปฏิบัติการ
: เครื่องมือผ่าตัด อุปกรณ์ตรวจจับ เครื่องมือวัดความแม่นยำในห้องปฏิบัติการที่ต้องการประสิทธิภาพที่ไม่เป็นแม่เหล็กและสะอาดสูง

อุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และเซมิคอนดักเตอร์
: อุปกรณ์สนามแม่เหล็ก โมดูลอัตโนมัติความแม่นยำ โรงงานผลิตห้องคลีนรูม

ระบบอัตโนมัติความแม่นยำความเร็วสูง

• : มอเตอร์ความเร็วสูง อุปกรณ์ส่งกำลังความแม่นยำ และระบบเครื่องกลขนาดเล็ก