एच फैब उपकरण के लिए पतला खंड 6706 7706 Al2O3 30x37x4 मिमी एल्यूमिना सिरेमिक बॉल बियरिंग्स
| प्रोडक्ट का नाम | पूर्ण Al2O3 सिरेमिक बियरिंग | सामग्री | ज़िरकोनिया ऑक्साइड/सिलिकॉन नाइट्राइड/एल्यूमिना |
|---|---|---|---|
| विशेषता | धात्विक आयन संदूषण को रोकना | पिंजरा | पीक/पीटीएफई/नायलॉन/गैर |
| स्नेहन | आत्म lubricated | आकार | 30x37x4 मिमी, अनुकूलित। |
| रंग | सफ़ेद या भूरा काला | सीलिंग प्रकार | खुला |
| पंक्ति की संख्या | अकेला | शुद्धता | प0~प6~प5 |
| नमूना | उपलब्ध | आवेदन | विनिर्माण संयंत्र, मशीनरी मरम्मत की दुकानें, खाद्य और पेय कारखाने, फार्म |
पतली सेक्शन मीट्रिक 6706 Al2O3 30x37x4mm एल्यूमिना सिरेमिक बॉल बेयरिंग
6706 / 7706 एल्यूमिना सिरेमिक बेयरिंग
सिरेमिक बेयरिंग में उनके विशेष विद्युत और चुंबकत्व प्रतिरोध, घर्षण और संक्षारण प्रतिरोध, रखरखाव मुक्त स्नेहन, उच्च और निम्न तापमान प्रतिरोध आदि के साथ उत्कृष्ट प्रदर्शन होता है। इसलिए वे कठिन वातावरण और विशेष परिस्थितियों में उपयोग के लिए उपयुक्त हैं।
एल्यूमिना सिरेमिक बेयरिंग लागत प्रभावी, उच्च-सटीकता वाले ऑल-सिरेमिक रोलिंग बॉल बेयरिंग हैं जो उच्च-घनत्व सिंटरिंग और अल्ट्रा-प्रिसिजन ग्राइंडिंग प्रक्रियाओं के माध्यम से उच्च-शुद्धता एल्यूमिना (Al₂O₃) सिरेमिक से निर्मित होते हैं। असाधारण कठोरता, विश्वसनीय रासायनिक स्थिरता और बेहतर विद्युत इन्सुलेशन की विशेषता वाले, ये एल्यूमिना बेयरिंग हल्के से मध्यम लोड प्रिसिजन ऑपरेशन के लिए पेशेवर रूप से डिज़ाइन किए गए हैं। एक अत्यधिक किफायती और व्यावहारिक उन्नत बेयरिंग समाधान के रूप में, वे पारंपरिक स्टील बेयरिंग और महंगे जिरकोनिया सिरेमिक बेयरिंग को पूरी तरह से बदलते हैं, जो साफ, संक्षारक, इन्सुलेटिंग और उच्च-सटीकता वाले औद्योगिक कार्य परिदृश्यों में व्यापक रूप से लागू होते हैं।
6706 फुल सिरेमिक एल्यूमीनियम ऑक्साइड बॉल बेयरिंग, जिसका आंतरिक व्यास 30 मिमी, बाहरी व्यास 37 मिमी और चौड़ाई 4 मिमी है, एक मानक बेयरिंग आकार है जिसका उपयोग विभिन्न औद्योगिक और वाणिज्यिक अनुप्रयोगों में किया जाता है, बेयरिंग एल्यूमिना ऑक्साइड सिरेमिक से बना है।
![]()
![]()
एचर्स में एल्यूमिना बेयरिंग का उपयोग क्यों किया जाता है?
एच प्रक्रिया और फैब उपकरण के लिए, सिलिकॉन नाइट्राइड (Si₃N₄) हाइब्रिड सिरेमिक बेयरिंग उच्च गति वाले स्पिंडल के लिए मुख्यधारा की पसंद बने हुए हैं। एल्यूमिना (Al₂O₃) बेयरिंग (फुल-सिरेमिक बेयरिंग या एल्यूमिना रोलिंग तत्वों वाले बेयरिंग) मुख्य रूप से प्रक्रिया कक्ष के करीब स्टेशनों पर तैनात किए जाते हैं जो हैलोजन प्लाज्मा के संपर्क में आते हैं, जहां विद्युत इन्सुलेशन और अल्ट्रा-लो संदूषण अनिवार्य है। विशिष्ट अनुप्रयोगों में वेफर ट्रांसफर रोबोट, चैंबर गेट, फ्लो कंट्रोल वाल्व और प्लाज्मा जोन के पास घूमने वाले तंत्र शामिल हैं। वे स्पिंडल के लिए पसंदीदा विकल्प नहीं हैं।
5 मुख्य कारण
1. धात्विक आयन संदूषण को रोकना (सबसे महत्वपूर्ण कारक)
GCr15 स्टील बेयरिंग के घर्षण से Fe, Cr और Ni जैसे भारी धातु संदूषक निकलते हैं। एक बार वेफर्स पर जमा होने के बाद, ये अशुद्धियाँ सीधे डिवाइस लीकेज और यील्ड लॉस का कारण बनती हैं। उच्च-शुद्धता Al₂O₃ (99.9% ग्रेड) में लगभग कोई मोबाइल धात्विक अशुद्धियाँ नहीं होती हैं। घर्षण के दौरान उत्पन्न घर्षण मलबा एल्यूमिना पाउडर होता है, जो एचिंग प्रक्रियाओं के लिए फ्लोरीन/क्लोरीन प्लाज्मा के तहत धात्विक मलबे की तुलना में बहुत कम संदूषण जोखिम वहन करता है।
2. प्लाज्मा और हैलोजन गैस वातावरण के प्रति प्रतिरोध
Lam Kiyo और Aether जैसे एच चैंबर CF₄, Cl₂ और HBr सहित फ्लोरीन/क्लोरीन प्लाज्मा का व्यापक रूप से उपयोग करते हैं। फ्लोरीन प्लाज्मा के तहत एल्यूमिना सतह पर एक स्थिर AlF₃ निष्क्रियता परत बनती है, जो कम संक्षारण दर प्रदान करती है। स्टील के विपरीत, यह प्लाज्मा-प्रेरित छीलने और कणों के झड़ने से ग्रस्त नहीं होगा। स्टेनलेस स्टील और बेयरिंग स्टील हैलोजन प्लाज्मा वातावरण में तेजी से खराब होते हैं और विफल हो जाते हैं।
3. RF गैल्वेनिक संक्षारण को रोकने के लिए उच्च विद्युत इन्सुलेशन (RF प्लाज्मा चैंबर के लिए आवश्यक)
एच चैंबर उच्च-वोल्टेज 13.56 मेगाहर्ट्ज RF प्लाज्मा क्षेत्र के तहत संचालित होते हैं। विद्युत प्रवाहकीय बेयरिंग शाफ्ट करंट, विद्युत स्पार्क्स और विद्युत pitting को प्रेरित करते हैं, जिससे तेजी से बेयरिंग विफलता और प्लाज्मा एकरूपता में गड़बड़ी होती है। एल्यूमिना एक उत्कृष्ट ढांकता हुआ है जिसकी प्रतिरोधकता >10¹⁴ Ω·cm है। इसका अंतर्निहित इन्सुलेशन शाफ्ट करंट और ESD इलेक्ट्रोस्टैटिक डिस्चार्ज को अवरुद्ध करता है।
4. अल्ट्रा-हाई वैक्यूम के तहत ड्राई-रनिंग क्षमता और कम आउटगैसिंग
प्रक्रिया कक्ष उच्च वैक्यूम की स्थिति (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr) बनाए रखते हैं। पारंपरिक ग्रीस और तेल वाष्पशील आउटगैसिंग का उत्पादन करते हैं जो चैंबर को दूषित करते हैं। उच्च कठोरता और अनुकूल स्व-स्नेहन गुणों की विशेषता, एल्यूमिना तेल-मुक्त शुष्क घर्षण संचालन का समर्थन करता है, कार्बनिक संदूषकों को समाप्त करता है और स्वच्छ वैक्यूम विनिर्देशों को पूरा करता है।
5. उत्कृष्ट घर्षण प्रतिरोध, आयामी स्थिरता और थर्मल स्थिरता
इसकी विकर्स कठोरता (HV ≈ 1500–1650) बेयरिंग स्टील से काफी अधिक है। कम तापीय विस्तार के साथ मिलकर, यह चैंबर थर्मल साइक्लिंग के तहत प्रीलोड और सटीकता को बेहतर ढंग से संरक्षित करता है, P4/P2 ग्रेड प्रिसिजन पोजिशनिंग और स्थिर दीर्घकालिक चक्रीय गति के लिए उपयुक्त है।
![]()
सामग्री प्रकार:
1.सिलिकॉन नाइट्राइड (Si₃N₄): सिरेमिक तत्वों के लिए स्वर्ण मानक। यह उच्च फ्रैक्चर टफनेस, चरम कठोरता और बेहतर थकान प्रतिरोध प्रदान करता है।
2.ज़िरकोनिया (ZrO₂): अक्सर शॉक लोड के प्रति अधिक कठोर और लचीला होता है, जिसमें स्टील के समान तापीय विस्तार गुण होते हैं।
3.सिलिकॉन कार्बाइड (SiC): अविश्वसनीय रूप से उच्च तापमान और अत्यधिक संक्षारक औद्योगिक अनुप्रयोगों के लिए उपयोग किया जाता है।
विशेषताएँ:
चरम उच्च तापमान क्षमता
जब तापमान 572 डिग्री फारेनहाइट (300 डिग्री सेल्सियस) से अधिक हो जाता है तो मानक 440C स्टेनलेस स्टील और 52100 क्रोम स्टील सामग्री अपने यांत्रिक गुणों को खोना शुरू कर देती है। फुल सिरेमिक बेयरिंग में 1800 डिग्री फारेनहाइट तक चरम उच्च तापमान क्षमता का लाभ होता है।
हल्का वजन
फुल सिरेमिक बेयरिंग हल्के होते हैं। उन अनुप्रयोगों में जिनमें कई बेयरिंग इकाइयों का उपयोग किया जाता है या बड़े आकार का उपयोग किया जाता है, यह समग्र उत्पाद के कुल वजन को कम करने में मदद कर सकता है। वजन कम करने से असंतुलित अनुप्रयोगों के कारण होने वाले कंपन और तनाव जैसे प्रभावों को कम किया जा सकता है। घूर्णन असेंबली में वजन कम करने से गति क्षमता और दक्षता बढ़ सकती है।
गैर-चुंबकीय
फुल सिरेमिक बेयरिंग गैर-चुंबकीय होते हैं और उन अनुप्रयोगों में हस्तक्षेप का कारण नहीं बनेंगे जहां मजबूत चुंबकीय क्षेत्र का संपर्क होता है जैसे कि इलेक्ट्रॉन बीम प्रक्रियाएं।
चरम संक्षारण प्रतिरोध
फुल सिरेमिक बेयरिंग अत्यधिक संक्षारण प्रतिरोधी होते हैं और अधिकांश सामान्य एसिड का सामना करेंगे, वे पानी या खारे पानी के संपर्क में आने पर जंग नहीं खाएंगे।
अलग और गैर-प्रवाहकीय
फुल सिरेमिक बेयरिंग विद्युत रूप से गैर-प्रवाहकीय और थर्मल इन्सुलेटिंग होते हैं।
आवेदन
-
चिकित्सा और प्रयोगशाला उपकरण: सर्जिकल उपकरण, पता लगाने वाले उपकरण, गैर-चुंबकीय और उच्च-स्वच्छता प्रदर्शन की आवश्यकता वाले प्रयोगशाला प्रिसिजन उपकरण
-
इलेक्ट्रॉनिक और सेमीकंडक्टर उपकरण: चुंबकीय क्षेत्र उपकरण, प्रिसिजन ऑटोमेशन मॉड्यूल, क्लीनरूम उत्पादन सुविधाएं
-
उच्च गति प्रिसिजन ऑटोमेशन: उच्च गति मोटर, प्रिसिजन ट्रांसमिशन उपकरण और लघु यांत्रिक प्रणालियाँ
![]()
