Seção fina 6706 7706 rolamentos de esferas cerâmicos de alumina Al2O3 30x37x4mm para equipamento Fab Etch

Rolamentos de esferas cerâmicos de alumínio de secção fina métrica 6706 Al2O3 30x37x4 mm

6706 / 7706 Rolamentos cerâmicos de alumínio

Os rolamentos de cerâmica apresentam um excelente desempenho devido à sua resistência especial à electricidade e ao magnetismo, à resistência ao desgaste e à corrosão, à lubrificação sem manutenção,resistência a altas e baixas temperaturas, etc.Assim, são adequados para ser utilizados em ambientes difíceis e condições especiais.

Os rolamentos cerâmicos de alumínio são rentáveis,Rolamentos de esferas totalmente cerâmicos de alta precisão fabricados a partir de cerâmica de alumínio de alta pureza (Al2O3) através de processos de sinterização de alta densidade e moagem de ultra-precisãoCom uma dureza excepcional, uma estabilidade química fiável e um isolamento elétrico superior, estes rolamentos de alumina são profissionalmente concebidos para uma operação de precisão de carga leve a média.Como uma solução avançada de rolamentos altamente económica e prática, substituem perfeitamente os rolamentos tradicionais de aço e os caros rolamentos cerâmicos de zircônio, amplamente aplicáveis em cenários de trabalho industrial limpos, corrosivos, isolantes e de alta precisão.

6706 Rolamento de esferas de óxido de alumínio cerâmico completo, com um diâmetro interno de 30 mm, um diâmetro externo de 37 mm e uma largura de 4 mm,um tamanho padrão de rolamento comumente utilizado em uma variedade de aplicações industriais e comerciaisO rolamento é feito de cerâmica de óxido de alumínio.

Adotando matérias-primas cerâmicas de alumina de alta pureza e tecnologia integrada de sinterização a alta temperatura, os rolamentos de alumina possuem uma dureza superficial ultra elevada,Excelente rigidez estrutural e destacada estabilidade dimensionalCom uma microstrutura interna fina e densa, o material oferece uma forte resistência à compressão, acabamento superficial liso e propriedades físicas e químicas estáveis.Equilibrar o excelente desempenho global e as vantagens de custo, a cerâmica de alumínio torna-se o material preferido para rolamentos de cerâmica de precisão média, garantindo o funcionamento estável e duradouro do equipamento a longo prazo.

Características técnicas essenciais

1Excelente resistência à corrosão e a produtos químicos

A cerâmica de alumínio é quimicamente inerte, resistente à erosão da maioria dos ácidos, álcalis, solventes orgânicos e ambientes de água salgada.Condições de trabalho úmidas e corrosivasOs rolamentos podem manter a integridade estrutural completa e a precisão de rotação precisa durante a operação contínua a longo prazo no processamento químico, limpeza e ambientes marinhos.

2. Desempenho de isolamento elétrico superior

Com excelente resistência dielétrica e características não condutoras, os rolamentos cerâmicos de alumínio isolam efetivamente a corrente, evitam fugas elétricas e bloqueiam o acúmulo estático.Evitam completamente danos de corrente do eixo., interferências eléctricas e perdas de corrente de redemoinho, tornando-os ideais para equipamentos eléctricos de alta tensão,Sistemas de transmissão isolados e máquinas eletrónicas de precisão que exijam um isolamento elétrico rigoroso.

3. Dureza ultra-alta e resistência ao desgaste

Com extrema dureza de Mohs e forte resistência à pressão, a cerâmica de alumina apresenta perdas de abrasão extremamente baixas durante a operação de alta velocidade e contínua.As vias de corrida polidas com precisão e as bolas de cerâmica de alta precisão garantem a uniformidade, rotação suave e estável, reduzindo eficazmente o desgaste dos componentes, prolongando a vida útil e reduzindo os custos de manutenção dos equipamentos.

4Zero contaminação e operação limpa

Como material cerâmico inorgânico não metálico, a alumina não produz detritos metálicos, partículas magnéticas ou precipitados químicos durante o funcionamento.Normas de produção de alimentos e farmacêuticos, evitando efetivamente a poluição secundária das matérias-primas e dos ambientes de trabalho, adequado para cenários de produção de precisão de alta pureza.

5- Excelente estabilidade a altas temperaturas.

O material tem um baixo coeficiente de expansão térmica e uma excelente resistência a altas temperaturas,Manter a precisão dimensional estável e a rigidez estrutural em condições de trabalho de alta temperatura a longo prazoÉ resistente à deformação térmica e ao choque térmico, adaptando-se a ambientes industriais de temperatura complexos e variáveis com desempenho operacional estável.

Por que os rolamentos de alumínio são usados em gravadoras?

Para o processamento de gravação e equipamentos Fab, os rolamentos cerâmicos híbridos de nitreto de silício (Si3N4) continuam a ser a escolha principal para fusos de alta velocidade.Os rolamentos de alumínio (Al2O3) (rolamentos totalmente cerâmicos ou rolamentos com elementos laminados de alumínio) são utilizados principalmente em estações próximas da câmara de processo expostas ao plasma halógenoAs aplicações típicas incluem robôs de transferência de wafer, portas de câmara, válvulas de controlo de fluxo,e mecanismos de rotação perto das zonas de plasmaNão são a opção preferida para fusos.

5 Razões fundamentais

1.Bloquear a contaminação por íons metálicos (o fator mais crítico)
O desgaste de rolamentos de aço GCr15 libera contaminantes de metais pesados, como Fe, Cr e Ni. Uma vez depositadas nas wafers, essas impurezas causam diretamente vazamento do dispositivo e perda de rendimento.9% de grau) contém quase nenhuma impureza metálica móvelOs resíduos de desgaste gerados durante o atrito são o pó de alumina, que apresenta um risco de contaminação muito menor do que os resíduos metálicos sob plasma de flúor/cloro para processos de gravação.
2.Resistência aos ambientes de plasma e gás halógeno
As câmaras de gravação como Lam Kiyo e Aether usam extensivamente plasma de flúor/cloro, incluindo CF4, Cl2 e HBr. Uma camada de passivação estável de AlF3 se forma na superfície da alumina sob o plasma de flúor,fornecendo uma baixa taxa de corrosãoO aço inoxidável e o aço de rolamento corroem rapidamente e falham em ambientes de plasma halógeno.
3.Alto isolamento elétrico para evitar a corrosão galvânica de RF (essencial para câmaras de plasma de RF)
As câmaras de gravação operam sob um campo de plasma RF de alta tensão de 13,56 MHz.levando a uma falha rápida do rolamento e perturbação da uniformidade do plasmaA alumina é um excelente dielétrico com resistividade > 1014 Ω·cm. Os seus blocos de isolamento inerentes bloqueiam a corrente do eixo e a descarga electrostática ESD.
4.Capacidade de funcionamento a seco e baixa descarga de gases sob vácuo ultra elevado
As câmaras de processo mantêm condições de vácuo elevadas (10-6 ~ 10-8 Torr).Com elevada dureza e propriedades favoráveis de auto-lubrificação, a alumina suporta a operação de atrito seco sem óleo, eliminando contaminantes orgânicos e atendendo às especificações de vácuo limpo.
5.Excelente resistência ao desgaste, estabilidade dimensional e estabilidade térmica
Sua dureza de Vickers (HV ≈ 1500 ≈ 1650) é substancialmente maior do que o aço de rolamento.adequado para posicionamento de precisão P4/P2 e movimento cíclico estável a longo prazo.

Tipos de material:

1.Nitreto de silício (Si3N4): O padrão ouro para elementos cerâmicos. Ele oferece maior resistência à fratura, dureza extrema e resistência à fadiga superior.
2. Zircônio (ZrO2): Muitas vezes mais resistente e mais resistente a cargas de choque, com propriedades de expansão térmica mais parecidas com o aço.
3.Carburo de Silício (SiC): Usado para aplicações industriais de temperaturas incrivelmente altas e altamente corrosivas.

Personagens:

Capacidade para temperaturas extremamente elevadas
Quando as temperaturas excedem os 300°C, o aço inoxidável 440°C e o aço cromado 52100 começam a perder as suas propriedades mecânicas.Os rolamentos cerâmicos completos têm a vantagem de serem extremamente resistentes a altas temperaturas até 1800°C.- F.

Peso leve
Os rolamentos cerâmicos completos são leves. Em aplicações que implementam muitas unidades de rolamentos ou que utilizam tamanhos maiores, isso pode ajudar a reduzir o peso total do produto global.A redução do peso pode reduzir efeitos como vibração e estresse causados por aplicações desequilibradasA redução do peso nos conjuntos rotativos pode aumentar a capacidade de velocidade e eficiência.

Não magnético
Os rolamentos cerâmicos completos são não magnéticos e não causarão interferências em aplicações em que há uma forte exposição ao campo magnético, como processos de feixe de elétrons.

RESISTÊNCIA EXTREMAMENTE À CORROSÃO
Os rolamentos cerâmicos completos são altamente resistentes à corrosão e suportam a maioria dos ácidos comuns, não corroem na exposição à água ou à água salgada.

Isolantes e não condutores
Os rolamentos cerâmicos completos são eletricamente não condutores e termicamente isolantes.

Aplicação

• Equipamento médico e de laboratório: Instrumentos cirúrgicos, aparelhos de detecção, instrumentos de precisão de laboratório que exijam desempenho não magnético e de elevada limpeza
• Equipamento eletrónico e semicondutor: Equipamento de campo magnético, módulos de automação de precisão, instalações de produção de salas limpas
• Automatização de precisão de alta velocidade: Motores de alta velocidade, equipamentos de transmissão de precisão e sistemas mecânicos miniaturizados