قسمت نازک 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm آلومینا سرامیک بلبرینگ برای تجهیزات Etch Fab

بلبرینگ سرامیکی آلومینا، مقیاس مقطع نازک 6706، 30x37x4 میلی متر

بلبرینگ سرامیکی آلومینا 6706 / 7706

بلبرینگ‌های سرامیکی به دلیل مقاومت ویژه الکتریکی و مغناطیسی، مقاومت در برابر سایش و خوردگی، روانکاری بدون نیاز به نگهداری، مقاومت در برابر دمای بالا و پایین و غیره، عملکرد عالی دارند. بنابراین برای استفاده در محیط‌های سخت و شرایط ویژه مناسب هستند.

بلبرینگ‌های سرامیکی آلومینا، بلبرینگ‌های غلتکی تمام سرامیکی با دقت بالا و مقرون به صرفه هستند که از سرامیک آلومینا (Al₂O₃) با خلوص بالا از طریق فرآیندهای تف جوشی با چگالی بالا و سنگ زنی فوق دقیق ساخته می‌شوند. این بلبرینگ‌های آلومینا با سختی استثنایی، پایداری شیمیایی قابل اعتماد و عایق الکتریکی برتر، به طور حرفه‌ای برای عملیات دقیق با بار سبک تا متوسط طراحی شده‌اند. به عنوان یک راه حل پیشرفته بلبرینگ بسیار اقتصادی و کاربردی، آنها به طور کامل جایگزین بلبرینگ‌های فولادی سنتی و بلبرینگ‌های سرامیکی زیرکونیوم گران قیمت می‌شوند و به طور گسترده در سناریوهای کاری صنعتی تمیز، خورنده، عایق و با دقت بالا کاربرد دارند.

بلبرینگ ساچمه‌ای تمام سرامیکی 6706 آلومینا، دارای قطر داخلی 30 میلی متر، قطر خارجی 37 میلی متر و عرض 4 میلی متر است، یک اندازه استاندارد بلبرینگ که معمولاً در انواع کاربردهای صنعتی و تجاری استفاده می‌شود، بلبرینگ از سرامیک اکسید آلومینا ساخته شده است.

با استفاده از مواد اولیه سرامیکی آلومینا با خلوص بالا و فناوری تف جوشی در دمای بالا، بلبرینگ‌های آلومینا دارای سختی سطح فوق العاده بالا، استحکام ساختاری عالی و پایداری ابعادی برجسته هستند. این ماده با ریزساختار داخلی ریز و متراکم، مقاومت فشاری قوی، پرداخت سطح صاف و خواص فیزیکی و شیمیایی پایدار را ارائه می‌دهد. آلومینا با متعادل کردن عملکرد جامع عالی و مزایای هزینه، ماده‌ای ارجح برای بلبرینگ‌های سرامیکی با دقت متوسط است و از عملکرد پایدار و بادوام طولانی مدت تجهیزات اطمینان حاصل می‌کند.

ویژگی‌های فنی اصلی

1. مقاومت عالی در برابر خوردگی و مواد شیمیایی

سرامیک آلومینا از نظر شیمیایی خنثی است و در برابر اکثر اسیدها، قلیاها، حلال‌های آلی و محیط‌های آب شور مقاومت می‌کند. در شرایط کاری مرطوب، نمناک و خورنده هرگز زنگ نمی‌زند، اکسید نمی‌شود یا تخریب نمی‌شود. بلبرینگ‌ها می‌توانند در طول عملیات مداوم طولانی مدت در پردازش شیمیایی، تمیز کردن و محیط‌های دریایی، یکپارچگی ساختاری کامل و دقت چرخش دقیق را حفظ کنند.

2. عملکرد عایق الکتریکی برتر

بلبرینگ‌های سرامیکی آلومینا با استحکام دی الکتریک عالی و خواص غیر رسانا، به طور موثر جریان را عایق می‌کنند، از نشت الکتریکی جلوگیری کرده و تجمع استاتیک را مسدود می‌کنند. آنها به طور کامل از آسیب جریان شفت، تداخل الکتریکی و اتلاف جریان گردابی جلوگیری می‌کنند و آنها را برای تجهیزات الکتریکی ولتاژ بالا، سیستم‌های انتقال عایق و ماشین آلات دقیق الکترونیکی که نیاز به جداسازی الکتریکی دقیق دارند، ایده‌آل می‌سازد.

3. سختی فوق العاده بالا و مقاومت در برابر سایش

سرامیک آلومینا با سختی موهس شدید و مقاومت فشاری قوی، در طول عملیات با سرعت بالا و مداوم، اتلاف سایش بسیار کمی دارد. مسیرهای غلتکی با دقت پرداخت شده و ساچمه‌های سرامیکی با دقت بالا، چرخش یکنواخت، صاف و پایدار را تضمین می‌کنند، به طور موثر سایش قطعات را کاهش می‌دهند، عمر مفید را افزایش می‌دهند و هزینه‌های نگهداری تجهیزات را کاهش می‌دهند.

4. عدم آلودگی و عملیات تمیز

سرامیک آلومینا به عنوان یک ماده سرامیکی معدنی غیر فلزی، در طول عملیات هیچ گونه تراشه فلزی، ذرات مغناطیسی یا رسوبات شیمیایی تولید نمی‌کند. این ماده به طور کامل با استانداردهای تولید اتاق تمیز، درجه غذایی و دارویی مطابقت دارد و به طور موثر از آلودگی ثانویه مواد اولیه و محیط‌های کاری جلوگیری می‌کند و برای سناریوهای تولید دقیق با خلوص بالا مناسب است.

5. پایداری برجسته در دمای بالا

این ماده دارای ضریب انبساط حرارتی کم و مقاومت عالی در برابر دمای بالا است و در شرایط کاری طولانی مدت در دمای بالا، دقت ابعادی پایدار و استحکام ساختاری را حفظ می‌کند. در برابر تغییر شکل حرارتی و شوک حرارتی مقاومت می‌کند و با عملکرد عملیاتی پایدار، خود را با محیط‌های دمایی صنعتی پیچیده و متغیر تطبیق می‌دهد.

چرا از بلبرینگ‌های آلومینا در دستگاه‌های اچ استفاده می‌شود؟

برای پردازش اچ و تجهیزات فب، بلبرینگ‌های سرامیکی هیبریدی نیترید سیلیکون (Si₃N₄) همچنان انتخاب اصلی برای اسپیندل‌های با سرعت بالا هستند. بلبرینگ‌های آلومینا (بلبرینگ‌های تمام سرامیکی یا بلبرینگ‌های با عناصر غلتکی آلومینا) عمدتاً در ایستگاه‌های نزدیک به محفظه فرآیند که در معرض پلاسمای هالوژن قرار دارند، جایی که عایق الکتریکی و آلودگی فوق‌العاده کم الزامی است، استفاده می‌شوند. کاربردهای معمول شامل ربات‌های انتقال ویفر، گیت‌های محفظه، شیرهای کنترل جریان و مکانیزم‌های دوار نزدیک مناطق پلاسما است. آنها گزینه ارجح برای اسپیندل‌ها نیستند.

5 دلیل اصلی

1. مسدود کردن آلودگی یون‌های فلزی (مهمترین عامل)سایش بلبرینگ‌های فولادی GCr15، آلاینده‌های فلزات سنگین مانند Fe، Cr و Ni را آزاد می‌کند. این ناخالصی‌ها پس از رسوب بر روی ویفرها، مستقیماً باعث نشتی دستگاه و کاهش بازده می‌شوند. آلومینا (Al₂O₃) با خلوص بالا (درجه 99.9%) تقریباً هیچ ناخالصی فلزی متحرک ندارد. تراشه‌های سایش تولید شده در طول اصطکاک، پودر آلومینا هستند که در فرآیندهای اچینگ تحت پلاسمای فلوئور/کلر، خطر آلودگی بسیار کمتری نسبت به تراشه‌های فلزی دارند.
2. مقاومت در برابر محیط‌های پلاسمای هالوژن
محفظه‌های اچ مانند Lam Kiyo و Aether به طور گسترده از پلاسمای فلوئور/کلر از جمله CF₄، Cl₂ و HBr استفاده می‌کنند. یک لایه پاسیوه‌سازی پایدار AlF₃ بر روی سطح آلومینا تحت پلاسمای فلوئور تشکیل می‌شود که نرخ خوردگی پایینی را ارائه می‌دهد. برخلاف فولاد، پوسته‌پوسته شدن ناشی از پلاسما و ریزش ذرات را تجربه نخواهد کرد. فولاد ضد زنگ و فولاد بلبرینگ به سرعت خورده شده و در محیط‌های پلاسمای هالوژن از کار می‌افتند.3. عایق الکتریکی بالا برای جلوگیری از خوردگی گالوانیک RF (ضروری برای محفظه‌های پلاسمای RF)
محفظه‌های اچ تحت میدان پلاسمای RF با فرکانس 13.56 مگاهرتز و ولتاژ بالا کار می‌کنند. بلبرینگ‌های رسانای الکتریکی باعث جریان شفت، جرقه الکتریکی و حفره‌دار شدن الکتریکی می‌شوند که منجر به خرابی سریع بلبرینگ و اختلال در یکنواختی پلاسما می‌شود. آلومینا یک دی‌الکتریک عالی با مقاومت >10¹⁴ Ω·cm است. عایق ذاتی آن جریان شفت و تخلیه الکترواستاتیکی ESD را مسدود می‌کند.
4. قابلیت کارکرد خشک و کم‌گازدهی در خلاء فوق العاده بالامحفظه‌های فرآیند شرایط خلاء بالا (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr) را حفظ می‌کنند. گریس‌ها و روغن‌های معمولی گازدهی فرار تولید می‌کنند که محفظه را آلوده می‌کند. آلومینا با سختی بالا و خواص خود روانکاری مطلوب، از عملیات اصطکاک خشک بدون روغن پشتیبانی می‌کند، آلاینده‌های آلی را حذف کرده و مشخصات خلاء تمیز را برآورده می‌کند.
5. مقاومت عالی در برابر سایش، پایداری ابعادی و پایداری حرارتی
سختی ویکرز آن (HV ≈ 1500–1650) به طور قابل توجهی بالاتر از فولاد بلبرینگ است. همراه با انبساط حرارتی کم، پیش‌بار و دقت را در طول چرخه حرارتی محفظه بهتر حفظ می‌کند و برای موقعیت‌یابی دقیق درجه P4/P2 و حرکت چرخه‌ای پایدار طولانی مدت مناسب است.انواع مواد:
1. نیترید سیلیکون (Si₃N₄): استاندارد طلایی برای عناصر سرامیکی. استحکام شکست بالاتر، سختی فوق‌العاده و مقاومت خستگی برتر را ارائه می‌دهد.
2. زیرکونیا (ZrO₂): اغلب سخت‌تر و در برابر بارهای ضربه‌ای انعطاف‌پذیرتر است و خواص انبساط حرارتی آن بیشتر شبیه فولاد است.3. کاربید سیلیکون (SiC): برای کاربردهای صنعتی با دمای بسیار بالا و بسیار خورنده استفاده می‌شود.
مشخصات:

قابلیت تحمل دمای فوق العاده بالا

هنگامی که دما از 572 درجه فارنهایت (300 درجه سانتیگراد) فراتر می‌رود، مواد فولادی ضد زنگ استاندارد 440C و فولاد کروم 52100 شروع به از دست دادن خواص مکانیکی خود می‌کنند. بلبرینگ‌های تمام سرامیکی مزیت قابلیت تحمل دمای فوق العاده بالا تا 1800 درجه فارنهایت را دارند.
وزن سبک
بلبرینگ‌های تمام سرامیکی سبک هستند. در کاربردهایی که از تعداد زیادی بلبرینگ یا اندازه‌های بزرگتر استفاده می‌شود، این می‌تواند به کاهش وزن کلی محصول کمک کند. کاهش وزن می‌تواند اثراتی مانند لرزش و تنش ناشی از کاربردهای نامتعادل را کاهش دهد. کاهش وزن در مجموعه‌های دوار می‌تواند قابلیت سرعت و راندمان را افزایش دهد.

غیر مغناطیسی

بلبرینگ‌های تمام سرامیکی غیر مغناطیسی هستند و در کاربردهایی که میدان مغناطیسی قوی وجود دارد مانند فرآیندهای پرتو الکترونی، تداخل ایجاد نمی‌کنند.
مقاومت شدید در برابر خوردگی

بلبرینگ‌های تمام سرامیکی در برابر خوردگی بسیار مقاوم هستند و در برابر اکثر اسیدهای رایج مقاومت می‌کنند، در معرض آب یا آب شور خورده نمی‌شوند.
عایق و غیر رسانا

بلبرینگ‌های تمام سرامیکی از نظر الکتریکی غیر رسانا و از نظر حرارتی عایق هستند.
کاربرد

تجهیزات پزشکی و آزمایشگاهی
: ابزار جراحی، دستگاه‌های تشخیص، ابزار دقیق آزمایشگاهی که نیاز به عملکرد غیر مغناطیسی و تمیز بالا دارند

تجهیزات الکترونیکی و نیمه‌هادی
: تجهیزات میدان مغناطیسی، ماژول‌های اتوماسیون دقیق، تأسیسات تولید اتاق تمیز

اتوماسیون دقیق با سرعت بالا

• : موتورهای با سرعت بالا، تجهیزات انتقال دقیق و سیستم‌های مکانیکی مینیاتوری