Rodamientos de cerámica de alúmina delgada de la sección 6706 7706 Al2O3 30x37x4m m para el equipo Fab del grabado

Los rodamientos de bolas cerámicas de aluminio de sección fina 6706 Al2O3 30x37x4 mm

6706 / 7706 Rodamientos cerámicos de aluminio

Los rodamientos cerámicos tienen un excelente rendimiento gracias a su resistencia eléctrica y magnética especial, resistencia al desgaste y a la corrosión, lubricación libre de mantenimiento,resistencia a altas y bajas temperaturas, etc.Así que son adecuados para su uso en ambientes difíciles y condiciones especiales.

Los rodamientos cerámicos de alumina son rentables,rodamientos de bolas de rodadura totalmente cerámicos de alta precisión fabricados a partir de cerámica de alumina (Al2O3) de alta pureza mediante procesos de sinterización de alta densidad y rectificación de ultra precisiónCon una dureza excepcional, una estabilidad química fiable y un aislamiento eléctrico superior, estos rodamientos de alumina están diseñados profesionalmente para un funcionamiento de precisión de carga ligera a media.Como una solución de rodamientos avanzados muy económica y práctica, sustituyen perfectamente los rodamientos tradicionales de acero y los costosos rodamientos cerámicos de zircón, ampliamente aplicables en escenarios de trabajo industriales limpios, corrosivos, aislantes y de alta precisión.

6706 rodamiento de bolas de óxido de aluminio de cerámica completa, tiene un diámetro interior de 30 mm, un diámetro exterior de 37 mm y una anchura de 4 mm,un tamaño de rodamiento estándar comúnmente utilizado en una variedad de aplicaciones industriales y comercialesEl rodamiento está hecho de cerámica de óxido de alumina.

El uso de materias primas cerámicas de alumina de alta pureza y la tecnología integrada de sinterización a altas temperaturas permiten que los rodamientos de alumina tengan una dureza superficial muy alta.excelente rigidez estructural y excepcional estabilidad dimensionalCon una microestructura interna fina y densa, el material ofrece una fuerte resistencia a la compresión, un acabado superficial liso y propiedades físicas y químicas estables.Equilibrar el excelente rendimiento global y las ventajas de coste, la cerámica de alumina se convierte en el material preferido para rodamientos de cerámica de precisión de gama media, lo que garantiza un funcionamiento estable y duradero a largo plazo del equipo.

Principales características técnicas

1Excelente resistencia a la corrosión y a las sustancias químicas

La cerámica de alumina es químicamente inerte, resistente a la erosión de la mayoría de los ácidos, álcalis, disolventes orgánicos y ambientes de agua salada.condiciones de trabajo húmedas y corrosivasLos rodamientos pueden mantener una integridad estructural completa y una precisión de rotación precisa durante el funcionamiento continuo a largo plazo en el procesamiento químico, la limpieza y los entornos marinos.

2. Rendimiento de aislamiento eléctrico superior

Con una excelente resistencia dieléctrica y características no conductoras, los rodamientos de alumina cerámica aíslan efectivamente la corriente, evitan fugas eléctricas y bloquean la acumulación estática.Evitan completamente el daño de la corriente del eje., las interferencias eléctricas y la pérdida de corriente de redondo, lo que las hace ideales para equipos eléctricos de alto voltaje,sistemas de transmisión aislados y máquinas electrónicas de precisión que requieren un aislamiento eléctrico estricto.

3. Dureza ultra alta y resistencia al desgaste

Con una dureza de Mohs extrema y una fuerte resistencia a la presión, la cerámica de alumina presenta una pérdida de abrasión extremadamente baja durante el funcionamiento continuo y de alta velocidad.Las pistas de corrida y las bolas cerámicas de alta precisión aseguran una, una rotación suave y estable, lo que reduce efectivamente el desgaste de los componentes, prolonga la vida útil y reduce los costes de mantenimiento del equipo.

4Cero contaminación y operación limpia

Como material cerámico inorgánico no metálico, la cerámica de alumina no produce residuos metálicos, partículas magnéticas o precipitados químicos durante el funcionamiento.normas de producción de alimentos y farmacéuticos, evitando efectivamente la contaminación secundaria de las materias primas y los ambientes de trabajo, adecuado para escenarios de producción de alta pureza y precisión.

5- Estabilidad en altas temperaturas.

El material tiene un bajo coeficiente de expansión térmica y una excelente resistencia a altas temperaturas.mantener una precisión dimensional estable y una rigidez estructural bajo condiciones de trabajo a altas temperaturas a largo plazoResiste a la deformación térmica y al choque térmico, adaptándose a entornos industriales de temperatura complejos y variables con un rendimiento operativo estable.

¿Por qué se utilizan rodamientos de alumina en los grabadores?

Para el procesamiento de grabado y el equipo Fab, los rodamientos cerámicos híbridos de nitruro de silicio (Si3N4) siguen siendo la opción principal para husillos de alta velocidad.Los rodamientos de aluminio (Al2O3) (rodamientos totalmente cerámicos o rodamientos con elementos laminados de aluminio) se utilizan principalmente en estaciones cercanas a la cámara de proceso expuestas al plasma halógeno.Las aplicaciones típicas incluyen robots de transferencia de obleas, puertas de cámara, válvulas de control de flujo,y mecanismos de rotación cerca de las zonas de plasmaNo son la opción preferida para los husillos.

5 Razones principales

1.Bloqueo de la contaminación por iones metálicos (el factor más crítico)
El desgaste de los rodamientos de acero GCr15 libera contaminantes de metales pesados como Fe, Cr y Ni. Una vez depositadas en las obleas, estas impurezas causan directamente fugas del dispositivo y pérdida de rendimiento.9% de grado) contiene casi ninguna impureza metálica móvilLos residuos de desgaste generados durante la fricción son polvo de alúmina, que conlleva un riesgo de contaminación mucho menor que los residuos metálicos bajo plasma de flúor/cloro para procesos de grabado.
2.Resistencia a los ambientes de plasma y gas halógeno
Las cámaras de grabado como Lam Kiyo y Aether utilizan ampliamente plasma de flúor/cloro, incluidos CF4, Cl2 y HBr. Se forma una capa de pasivación estable de AlF3 en la superficie de alumina bajo el plasma de flúor,que ofrece una baja tasa de corrosiónA diferencia del acero, no sufrirá descamación inducida por plasma ni derramamiento de partículas.
3.Alto aislamiento eléctrico para evitar la corrosión galvánica de RF (esencial para cámaras de plasma de RF)
Las cámaras de grabado funcionan bajo un campo de plasma de alta tensión de 13,56 MHz.que conduce a una falla rápida del rodamiento y a una alteración de la uniformidad del plasmaLa alumina es un excelente dieléctrico con una resistividad > 1014 Ω·cm. Su bloque de aislamiento inherente bloquea la corriente del eje y la descarga electrostática ESD.
4.Capacidad de funcionamiento en seco y baja desgasificación en vacío ultraalto
Las cámaras de proceso mantienen altas condiciones de vacío (10-6 ~ 10-8 Torr).Con una dureza elevada y propiedades favorables de autolubricación, la alumina soporta el funcionamiento de fricción seca sin aceite, eliminando los contaminantes orgánicos y cumpliendo con las especificaciones de vacío limpio.
5.Excelente resistencia al desgaste, estabilidad dimensional y estabilidad térmica
Su dureza de Vickers (HV ≈ 1500 ≈ 1650) es sustancialmente mayor que la del acero rodante.Apto para posicionamiento de precisión de grado P4/P2 y movimiento cíclico estable a largo plazo.

Tipos de materiales:

1Nitruro de silicio (Si3N4): el estándar de oro para los elementos cerámicos.
2. Zirconio (ZrO2): A menudo más resistente y más resistente a las cargas de choque, con propiedades de expansión térmica más parecidas al acero.
3.Carburo de silicio (SiC): Se utiliza para aplicaciones industriales de temperaturas increíblemente altas y altamente corrosivas.

Personajes:

Capacidad para temperaturas extremadamente altas
Cuando las temperaturas exceden los 572 grados F (300 grados C), los materiales de acero inoxidable estándar 440C y acero cromado 52100 comienzan a perder sus propiedades mecánicas.Los rodamientos cerámicos completos tienen la ventaja de una capacidad de altas temperaturas extremas de hasta 1800 °C.- ¿ Qué?

Peso ligero
Los rodamientos cerámicos completos son ligeros. En aplicaciones que implementan muchas unidades de rodamientos o que utilizan tamaños más grandes, esto puede ayudar a reducir el peso total del producto en general.La reducción del peso puede reducir los efectos como las vibraciones y el estrés causados por aplicaciones desequilibradasLa reducción de peso en los conjuntos rotativos puede aumentar la capacidad de velocidad y la eficiencia.

No magnético
Los rodamientos cerámicos completos no son magnéticos y no causarán interferencias en aplicaciones donde hay una fuerte exposición al campo magnético, como los procesos de haz de electrones.

Extrema resistencia a la corrosión
Los rodamientos cerámicos completos son altamente resistentes a la corrosión y resistirán a la mayoría de los ácidos comunes, no se corroerán al exponerse al agua o al agua salada.

Aislación y no conductoras
Los rodamientos cerámicos completos no son conductores eléctricos y tienen aislamiento térmico.

Aplicación

• Equipo médico y de laboratorio: Instrumentos quirúrgicos, dispositivos de detección, instrumentos de precisión de laboratorio que requieren prestaciones no magnéticas y de alta limpieza
• Equipos electrónicos y semiconductores: Equipos de campo magnético, módulos de automatización de precisión, instalaciones de producción de salas limpias
• Automatización de alta velocidad y precisión: Motores de alta velocidad, equipos de transmisión de precisión y sistemas mecánicos miniaturizados