Roulements à billes en céramique d'alumine à section mince 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm pour équipement de gravure Fab

Roulement à billes en céramique d'alumine métrique mince 6706 Al2O3 30x37x4mm 

Roulement en céramique d'alumine 6706 / 7706

Les roulements en céramique ont d'excellentes performances grâce à leur résistance spéciale aux propriétés électriques et magnétiques, leur résistance à l'usure et à la corrosion, leur lubrification sans entretien, leur résistance aux hautes et basses températures, etc. Ils sont donc adaptés à une utilisation dans des environnements difficiles et des conditions spéciales.

Les roulements en céramique d'alumine sont des roulements à billes roulantes entièrement en céramique, économiques et de haute précision, fabriqués à partir d'alumine de haute pureté (Al₂O₃) par frittage haute densité et procédés de rectification ultra-précis. Dotés d'une dureté exceptionnelle, d'une stabilité chimique fiable et d'une isolation électrique supérieure, ces roulements en alumine sont conçus professionnellement pour un fonctionnement de précision à charge légère à moyenne. En tant que solution de roulement avancée très économique et pratique, ils remplacent parfaitement les roulements en acier traditionnels et les roulements coûteux en céramique de zircone, largement applicables dans les scénarios de travail industriels propres, corrosifs, isolants et de haute précision.

Roulement à billes entièrement en céramique 6706 en oxyde d'aluminium, diamètre intérieur de 30 mm, diamètre extérieur de 37 mm et largeur de 4 mm, une taille de roulement standard couramment utilisée dans une variété d'applications industrielles et commerciales, le roulement est fabriqué en céramique d'oxyde d'aluminium.

En adoptant des matières premières en céramique d'alumine de haute pureté et une technologie de frittage intégrée à haute température, les roulements en alumine possèdent une dureté de surface ultra-élevée, une excellente rigidité structurelle et une stabilité dimensionnelle exceptionnelle. Avec une microstructure interne fine et dense, le matériau offre une forte résistance à la compression, une finition de surface lisse et des propriétés physiques et chimiques stables. Équilibrant d'excellentes performances globales et des avantages en termes de coûts, la céramique d'alumine devient le matériau de choix pour les roulements en céramique de précision milieu de gamme, garantissant un fonctionnement stable et durable à long terme des équipements.

Caractéristiques techniques principales

1. Excellente résistance à la corrosion et aux produits chimiques

La céramique d'alumine est chimiquement inerte, résistant à l'érosion de la plupart des acides, alcalis, solvants organiques et environnements d'eau salée. Elle ne rouille, ne s'oxyde ni ne se détériore jamais dans des conditions de travail humides, mouillées et corrosives. Les roulements peuvent maintenir une intégrité structurelle complète et une précision de rotation précise lors d'un fonctionnement continu à long terme dans les environnements de traitement chimique, de nettoyage et marins.

2. Performances d'isolation électrique supérieures

Avec une excellente rigidité diélectrique et des caractéristiques non conductrices, les roulements en céramique d'alumine isolent efficacement le courant, empêchent les fuites électriques et bloquent l'accumulation d'électricité statique. Ils évitent complètement les dommages dus aux courants d'arbre, les interférences électriques et les pertes par courants de Foucault, ce qui les rend idéaux pour les équipements électriques haute tension, les systèmes de transmission isolés et les machines de précision électroniques nécessitant une isolation électrique stricte.

3. Dureté et résistance à l'usure ultra-élevées

Bénéficiant d'une dureté extrême selon Mohs et d'une forte résistance à la pression, la céramique d'alumine présente une perte d'abrasion extrêmement faible lors d'un fonctionnement continu à grande vitesse. Les pistes de roulement polies avec précision et les billes en céramique de haute précision assurent une rotation uniforme, lisse et stable, réduisant efficacement l'usure des composants, prolongeant la durée de vie et abaissant les coûts de maintenance des équipements.

4. Zéro contamination et fonctionnement propre

En tant que matériau céramique inorganique non métallique, la céramique d'alumine ne produit aucun débris métallique, particule magnétique ou précipité chimique pendant le fonctionnement. Elle est entièrement conforme aux normes de production en salle blanche, de qualité alimentaire et pharmaceutique, évitant efficacement la pollution secondaire des matières premières et des environnements de travail, adaptée aux scénarios de production de précision de haute pureté.

5. Stabilité exceptionnelle à haute température

Le matériau a un faible coefficient de dilatation thermique et une excellente résistance aux hautes températures, maintenant une précision dimensionnelle stable et une rigidité structurelle dans des conditions de fonctionnement à haute température à long terme. Il résiste à la déformation thermique et aux chocs thermiques, s'adaptant aux environnements de température industrielle complexes et variables avec des performances de fonctionnement stables.

Pourquoi les roulements en alumine sont-ils utilisés dans les graveurs ?

Pour le traitement de gravure et les équipements de fabrication, les roulements hybrides en céramique de nitrure de silicium (Si₃N₄) restent le choix principal pour les broches à grande vitesse. Les roulements en alumine (roulements entièrement en céramique ou roulements avec éléments roulants en alumine) sont principalement déployés dans les stations proches de la chambre de procédé exposées au plasma halogéné, où l'isolation électrique et la contamination ultra-faible sont obligatoires. Les applications typiques comprennent les robots de transfert de plaquettes, les portes de chambre, les vannes de contrôle de débit et les mécanismes rotatifs près des zones de plasma. Ils ne sont pas l'option préférée pour les broches.

5 raisons principales

1. Blocage de la contamination par ions métalliques (le facteur le plus critique)
L'usure des roulements en acier GCr15 libère des contaminants de métaux lourds tels que Fe, Cr et Ni. Une fois déposées sur les plaquettes, ces impuretés provoquent directement des fuites de dispositifs et des pertes de rendement. L'Al₂O₃ de haute pureté (grade 99,9%) ne contient presque aucune impureté métallique mobile. Les débris d'usure générés lors du frottement sont de la poudre d'alumine, qui présente un risque de contamination beaucoup plus faible que les débris métalliques sous plasma fluoré/chloré pour les processus de gravure.
2. Résistance aux environnements de plasma et de gaz halogénés
Les chambres de gravure telles que Lam Kiyo et Aether utilisent intensivement des plasmas fluorés/chlorés, y compris CF₄, Cl₂ et HBr. Une couche de passivation stable d'AlF₃ se forme à la surface de l'alumine sous plasma fluoré, offrant un faible taux de corrosion. Contrairement à l'acier, il ne subira pas de décollement induit par le plasma et de perte de particules. L'acier inoxydable et l'acier de roulement se corrodent rapidement et échouent dans les environnements de plasma halogéné.
3. Haute isolation électrique pour prévenir la corrosion galvanique RF (essentiel pour les chambres à plasma RF)
Les chambres de gravure fonctionnent sous un champ de plasma RF de 13,56 MHz à haute tension. Les roulements électriquement conducteurs induisent des courants d'arbre, des étincelles électriques et des piqûres électriques, entraînant une défaillance rapide des roulements et une perturbation de l'uniformité du plasma. L'alumine est un excellent diélectrique avec une résistivité >10⁴ Ω·cm. Son isolation intrinsèque bloque le courant d'arbre et la décharge électrostatique ESD.
4. Capacité de fonctionnement à sec et faible dégazage sous vide ultra-élevé
Les chambres de procédé maintiennent des conditions de vide élevé (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr). Les graisses et huiles conventionnelles produisent un dégazage volatil qui contamine la chambre. Dotée d'une dureté élevée et de propriétés autolubrifiantes favorables, l'alumine supporte un fonctionnement par friction à sec sans huile, éliminant les contaminants organiques et répondant aux spécifications de vide propre.
5. Excellente résistance à l'usure, stabilité dimensionnelle et stabilité thermique
Sa dureté Vickers (HV ≈ 1500–1650) est considérablement plus élevée que celle de l'acier de roulement. Combinée à une faible dilatation thermique, elle préserve mieux le précharge et la précision lors des cycles thermiques de la chambre, adaptée au positionnement de précision de grade P4/P2 et au mouvement cyclique stable à long terme.

Types de matériaux :

1. Nitrure de silicium (Si₃N₄) : La référence pour les éléments en céramique. Il offre une ténacité à la fracture plus élevée, une dureté extrême et une résistance à la fatigue supérieure.
2. Zircone (ZrO₂) : Souvent plus résistante et plus résiliente aux charges de choc, avec des propriétés de dilatation thermique plus proches de celles de l'acier.
3. Carbure de silicium (SiC) : Utilisé pour des applications industrielles incroyablement hautes températures et hautement corrosives.

Caractéristiques :

CAPACITÉ EXTRÊME HAUTE TEMPÉRATURE
Lorsque les températures dépassent 300 °C (572 °F), les matériaux standard en acier inoxydable 440C et en acier chromé 52100 commencent à perdre leurs propriétés mécaniques. Les roulements entièrement en céramique ont l'avantage d'une capacité extrême à haute température jusqu'à 1800 °F.

LÉGÈRETÉ
Les roulements entièrement en céramique sont légers. Dans les applications utilisant de nombreuses unités de roulement ou des tailles plus grandes, cela peut aider à réduire le poids total du produit. La réduction du poids peut réduire les effets tels que les vibrations et les contraintes causées par des applications déséquilibrées. La réduction du poids dans les ensembles rotatifs peut augmenter la capacité de vitesse et l'efficacité.

NON-MAGNÉTIQUE
Les roulements entièrement en céramique sont non magnétiques et ne provoqueront pas d'interférences dans les applications où il y a une forte exposition à un champ magnétique, comme les processus à faisceau d'électrons.

RÉSISTANCE EXTRÊME À LA CORROSION
Les roulements entièrement en céramique sont très résistants à la corrosion et résistent à la plupart des acides courants, ils ne se corrodent pas en cas d'exposition à l'eau ou à l'eau salée.

ISOLANT ET NON CONDUCTEUR
Les roulements entièrement en céramique sont électriquement non conducteurs et thermiquement isolants.

Application

• Équipement médical et de laboratoire: Instruments chirurgicaux, appareils de détection, instruments de laboratoire de précision nécessitant des performances non magnétiques et de haute propreté
• Équipement électronique et semi-conducteur: Équipement à champ magnétique, modules d'automatisation de précision, installations de production en salle blanche
• Automatisation de précision à grande vitesse: Moteurs à grande vitesse, équipements de transmission de précision et systèmes mécaniques miniaturisés