Bagian Tipis 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm Bantalan Bola Keramik Alumina untuk Peralatan Etch Fab

Bantalan Bola Keramik Alumina Metrik Bagian Tipis 6706 Al2O3 30x37x4mm 

Bantalan Keramik Alumina 6706 / 7706

Bantalan keramik memiliki kinerja yang sangat baik dengan ketahanan listrik dan magnetiknya yang istimewa, ketahanan aus dan korosi, pelumasan bebas perawatan, ketahanan suhu tinggi dan rendah, dll. Sehingga cocok digunakan di lingkungan yang sulit dan kondisi khusus.

Bantalan Keramik Alumina adalah bantalan bola gelinding keramik sepenuhnya presisi tinggi yang hemat biaya, diproduksi dari keramik alumina (Al₂O₃) berkemurnian tinggi melalui proses sintering densitas tinggi dan penggilingan ultra-presisi. Menampilkan kekerasan yang luar biasa, stabilitas kimia yang andal, dan insulasi listrik yang unggul, bantalan alumina ini dirancang secara profesional untuk operasi presisi beban ringan hingga sedang. Sebagai solusi bantalan canggih yang sangat ekonomis dan praktis, bantalan ini menggantikan bantalan baja tradisional dan bantalan keramik zirkonia yang mahal, banyak diterapkan dalam skenario kerja industri yang bersih, korosif, isolatif, dan presisi tinggi.

Bantalan Bola Aluminium Oksida Keramik Penuh 6706, berukuran diameter dalam 30mm, diameter luar 37mm dan lebar 4mm, ukuran bantalan standar yang umum digunakan dalam berbagai aplikasi industri dan komersial, Bantalan terbuat dari Keramik Aluminium Oksida.

Dengan mengadopsi bahan baku keramik alumina berkemurnian tinggi dan teknologi sintering suhu tinggi terintegrasi, bantalan alumina memiliki kekerasan permukaan ultra-tinggi, kekakuan struktural yang sangat baik, dan stabilitas dimensi yang luar biasa. Dengan mikrostuktur internal yang halus dan padat, material ini memberikan ketahanan kompresi yang kuat, hasil akhir permukaan yang halus, dan sifat fisik serta kimia yang stabil. Menyeimbangkan kinerja komprehensif yang sangat baik dan keunggulan biaya, keramik alumina menjadi material pilihan untuk bantalan keramik presisi kelas menengah, memastikan operasi peralatan yang stabil dan tahan lama dalam jangka panjang.

Fitur Teknis Inti

1. Ketahanan Korosi & Kimia yang Sangat Baik

Keramik alumina bersifat inert secara kimia, tahan terhadap erosi dari sebagian besar asam, alkali, pelarut organik, dan lingkungan air asin. Tidak pernah berkarat, teroksidasi, atau rusak dalam kondisi kerja yang lembab, basah, dan korosif. Bantalan dapat mempertahankan integritas struktural yang lengkap dan akurasi rotasi yang presisi selama operasi berkelanjutan jangka panjang dalam pemrosesan kimia, pembersihan, dan lingkungan laut.

2. Kinerja Isolasi Listrik Unggul

Dengan kekuatan dielektrik yang sangat baik dan karakteristik non-konduktif, bantalan keramik alumina secara efektif mengisolasi arus, mencegah kebocoran listrik, dan memblokir akumulasi statis. Bantalan ini sepenuhnya menghindari kerusakan arus poros, interferensi listrik, dan kehilangan arus eddy, menjadikannya ideal untuk peralatan listrik tegangan tinggi, sistem transmisi terisolasi, dan mesin presisi elektronik yang membutuhkan isolasi listrik yang ketat.

3. Kekerasan & Ketahanan Aus Ultra-Tinggi

Dengan kekerasan Mohs yang ekstrem dan ketahanan tekanan yang kuat, keramik alumina memiliki kehilangan abrasi yang sangat rendah selama operasi kecepatan tinggi dan berkelanjutan. Jalur balap yang dipoles secara presisi dan bola keramik presisi tinggi memastikan rotasi yang seragam, halus, dan stabil, secara efektif mengurangi keausan komponen, memperpanjang masa pakai, dan menurunkan biaya perawatan peralatan.

4. Operasi Bebas Kontaminasi & Bersih

Sebagai material keramik anorganik non-logam, keramik alumina tidak menghasilkan serpihan logam, partikel magnetik, atau endapan kimia selama operasi. Sepenuhnya mematuhi standar produksi ruang bersih, food-grade, dan farmasi, secara efektif menghindari polusi sekunder pada bahan baku dan lingkungan kerja, cocok untuk skenario produksi presisi kemurnian tinggi.

5. Stabilitas Suhu Tinggi yang Luar Biasa

Material ini memiliki koefisien ekspansi termal yang rendah dan ketahanan suhu tinggi yang sangat baik, mempertahankan akurasi dimensi yang stabil dan kekakuan struktural dalam kondisi kerja suhu tinggi jangka panjang. Tahan terhadap deformasi termal dan kejutan termal, beradaptasi dengan lingkungan suhu industri yang kompleks dan bervariasi dengan kinerja operasi yang stabil.

Mengapa Bantalan Alumina Digunakan dalam Etcher?

Untuk pemrosesan etsa dan peralatan Fab, bantalan keramik hibrida silikon nitrida (Si₃N₄) tetap menjadi pilihan utama untuk spindel berkecepatan tinggi. Bantalan alumina (Al₂O₃) (bantalan keramik penuh atau bantalan dengan elemen gelinding alumina) terutama digunakan di stasiun yang dekat dengan ruang proses yang terpapar plasma halogen, di mana isolasi listrik dan kontaminasi ultra-rendah adalah suatu keharusan. Aplikasi umum termasuk robot transfer wafer, gerbang ruang, katup kontrol aliran, dan mekanisme berputar di dekat zona plasma. Bantalan ini bukan pilihan yang disukai untuk spindel.

5 Alasan Inti

1. Memblokir kontaminasi ion logam (faktor paling kritis)
Keausan bantalan baja GCr15 melepaskan kontaminan logam berat seperti Fe, Cr, dan Ni. Setelah mengendap di wafer, kotoran ini secara langsung menyebabkan kebocoran perangkat dan kehilangan hasil. Al₂O₃ berkemurnian tinggi (grade 99,9%) hampir tidak mengandung pengotor logam yang dapat bergerak. Serpihan aus yang dihasilkan selama gesekan adalah bubuk alumina, yang membawa risiko kontaminasi jauh lebih rendah daripada serpihan logam di bawah plasma fluorin/klorin untuk proses etsa.
2. Ketahanan terhadap lingkungan plasma dan gas halogen
Ruang etsa seperti Lam Kiyo dan Aether banyak menggunakan plasma fluorin/klorin termasuk CF₄, Cl₂, dan HBr. Lapisan pasivasi AlF₃ yang stabil terbentuk di permukaan alumina di bawah plasma fluorin, memberikan laju korosi yang rendah. Tidak seperti baja, ia tidak akan mengalami pengelupasan dan pelepasan partikel yang diinduksi plasma. Baja tahan karat dan baja bantalan berkarat dengan cepat dan gagal di lingkungan plasma halogen.
3. Isolasi listrik tinggi untuk mencegah korosi galvanik RF (penting untuk ruang plasma RF)
Ruang etsa beroperasi di bawah medan plasma RF 13,56 MHz tegangan tinggi. Bantalan konduktif listrik menginduksi arus poros, percikan listrik, dan pitting listrik, yang menyebabkan kegagalan bantalan yang cepat dan gangguan keseragaman plasma. Alumina adalah dielektrik yang sangat baik dengan resistivitas >10¹⁴ Ω·cm. Insulasi bawaannya memblokir arus poros dan pelepasan muatan elektrostatik ESD.
4. Kemampuan berjalan kering dan outgassing rendah di bawah vakum ultra-tinggi
Ruang proses mempertahankan kondisi vakum tinggi (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr). Gemuk dan oli konvensional menghasilkan outgassing volatil yang mengkontaminasi ruang. Menampilkan kekerasan tinggi dan sifat pelumasan diri yang baik, alumina mendukung operasi gesekan kering bebas oli, menghilangkan kontaminan organik dan memenuhi spesifikasi vakum bersih.
5. Ketahanan aus, stabilitas dimensi, dan stabilitas termal yang sangat baik
Kekerasan Vickersnya (HV ≈ 1500–1650) secara substansial lebih tinggi daripada baja bantalan. Dikombinasikan dengan ekspansi termal yang rendah, ia mempertahankan preload dan presisi lebih baik di bawah siklus termal ruang, cocok untuk pemosisian presisi grade P4/P2 dan gerakan siklik jangka panjang yang stabil.

Jenis Material:

1.Silikon Nitrida (Si₃N₄): Standar emas untuk elemen keramik. Menawarkan ketangguhan fraktur yang lebih tinggi, kekerasan ekstrem, dan ketahanan lelah yang unggul.
2.Zirkonia (ZrO₂): Seringkali lebih tangguh dan lebih tahan terhadap beban kejut, dengan sifat ekspansi termal yang lebih mirip baja.
3.Silikon Karbida (SiC): Digunakan untuk aplikasi industri bersuhu sangat tinggi dan sangat korosif.

Karakter:

KEMAMPUAN SUHU SANGAT TINGGI
Ketika suhu melebihi 572 F (300 C) material baja tahan karat  440C dan baja krom 52100 standar mulai kehilangan sifat mekaniknya. Bantalan keramik penuh memiliki keunggulan kemampuan suhu sangat tinggi hingga 1800 F.

BERAT RINGAN
Bantalan keramik penuh ringan. Dalam aplikasi yang menggunakan banyak unit bantalan atau ukuran yang lebih besar, ini dapat membantu mengurangi berat total produk secara keseluruhan. Mengurangi berat dapat mengurangi efek seperti getaran dan tegangan yang disebabkan oleh aplikasi yang tidak seimbang. Pengurangan berat pada rakitan berputar dapat meningkatkan kemampuan kecepatan dan efisiensi.

NON-MAGNETIK
Bantalan keramik penuh bersifat non-magnetik dan tidak akan menyebabkan interferensi dalam aplikasi di mana terdapat paparan medan magnet kuat seperti proses berkas elektron.

KETAHANAN KOROSI EKSTREM
Bantalan keramik penuh sangat tahan korosi dan tahan terhadap sebagian besar asam umum, tidak akan berkarat jika terkena air atau air asin.

ISOLASI & NON-KONDUKTIF
Bantalan keramik penuh bersifat non-konduktif secara elektrik dan isolasi termal.

Aplikasi

• Peralatan Medis & Laboratorium: Instrumen bedah, perangkat deteksi, instrumen presisi laboratorium yang membutuhkan kinerja non-magnetik dan kebersihan tinggi
• Peralatan Elektronik & Semikonduktor: Peralatan medan magnet, modul otomatisasi presisi, fasilitas produksi ruang bersih
• Otomatisasi Presisi Kecepatan Tinggi: Motor berkecepatan tinggi, peralatan transmisi presisi, dan sistem mekanis miniatur