Thin Section 6706 7706 Al2O3 30x37x4mm Alumina Ceramic Ball Bearings for Etch Fab Equipment

Λεπτή Τομή Μετρική 6706 Al2O3 30x37x4mm Ρουλεμάν Κεραμικής Αλουμίνας 

6706 / 7706 Ρουλεμάν Κεραμικής Αλουμίνας

Τα κεραμικά ρουλεμάν έχουν εξαιρετική απόδοση με την ειδική τους ηλεκτρική και μαγνητική αντίσταση, αντίσταση στη φθορά και τη διάβρωση, λίπανση χωρίς συντήρηση, αντίσταση σε υψηλές και χαμηλές θερμοκρασίες κ.λπ. Έτσι είναι κατάλληλα για χρήση σε δύσκολα περιβάλλοντα και ειδικές συνθήκες.

Τα κεραμικά ρουλεμάν αλουμίνας είναι οικονομικά, ρουλεμάν κυλιόμενων σφαιρών πλήρως κεραμικά υψηλής ακρίβειας, κατασκευασμένα από αλουμίνα (Al₂O₃) κεραμικό υψηλής καθαρότητας μέσω διαδικασιών πυροσυσσωμάτωσης υψηλής πυκνότητας και λείανσης υπερ-ακριβείας. Διαθέτοντας εξαιρετική σκληρότητα, αξιόπιστη χημική σταθερότητα και ανώτερη ηλεκτρική μόνωση, αυτά τα ρουλεμάν αλουμίνας είναι επαγγελματικά σχεδιασμένα για λειτουργία ακριβείας με ελαφρά έως μεσαία φορτία. Ως μια εξαιρετικά οικονομική και πρακτική προηγμένη λύση ρουλεμάν, αντικαθιστούν τέλεια τα παραδοσιακά χαλύβδινα ρουλεμάν και τα ακριβά κεραμικά ρουλεμάν ζιρκονίας, εφαρμόζονται ευρέως σε καθαρά, διαβρωτικά, μονωτικά και βιομηχανικά σενάρια εργασίας υψηλής ακρίβειας.

Ρουλεμάν Σφαιρών Οξειδίου Αλουμινίου Πλήρως Κεραμικό 6706, έχει εσωτερική διάμετρο 30mm, εξωτερική διάμετρο 37mm και πλάτος 4mm, ένα τυπικό μέγεθος ρουλεμάν που χρησιμοποιείται συνήθως σε διάφορες βιομηχανικές και εμπορικές εφαρμογές, Το ρουλεμάν είναι κατασκευασμένο από κεραμικό οξειδίου αλουμίνας.

Υιοθετώντας πρώτες ύλες κεραμικού αλουμίνας υψηλής καθαρότητας και ενσωματωμένη τεχνολογία πυροσυσσωμάτωσης υψηλής θερμοκρασίας, τα ρουλεμάν αλουμίνας διαθέτουν εξαιρετικά υψηλή σκληρότητα επιφάνειας, εξαιρετική δομική ακαμψία και εξαιρετική σταθερότητα διαστάσεων. Με λεπτή και πυκνή εσωτερική μικροδομή, το υλικό προσφέρει ισχυρή αντίσταση στη συμπίεση, λεία επιφάνεια και σταθερές φυσικές και χημικές ιδιότητες. Εξισορροπώντας εξαιρετική ολοκληρωμένη απόδοση και πλεονεκτήματα κόστους, η κεραμική αλουμίνα γίνεται το προτιμώμενο υλικό για κεραμικά ρουλεμάν μεσαίας κατηγορίας ακριβείας, εξασφαλίζοντας μακροχρόνια σταθερή και ανθεκτική λειτουργία του εξοπλισμού.

Βασικά Τεχνικά Χαρακτηριστικά

1. Εξαιρετική Αντοχή στη Διάβρωση & Χημική Αντοχή

Η κεραμική αλουμίνα είναι χημικά αδρανής, αντέχοντας στη διάβρωση από τα περισσότερα οξέα, αλκάλια, οργανικούς διαλύτες και περιβάλλοντα θαλασσινού νερού. Δεν σκουριάζει, οξειδώνεται ή αλλοιώνεται ποτέ σε υγρά, υγρά και διαβρωτικά εργασιακά περιβάλλοντα. Τα ρουλεμάν μπορούν να διατηρήσουν πλήρη δομική ακεραιότητα και ακριβή περιστροφική ακρίβεια κατά τη μακροχρόνια συνεχή λειτουργία σε περιβάλλοντα χημικής επεξεργασίας, καθαρισμού και θαλάσσιας χρήσης.

2. Ανώτερη Απόδοση Ηλεκτρικής Μόνωσης

Με εξαιρετική διηλεκτρική αντοχή και μη αγώγιμα χαρακτηριστικά, τα κεραμικά ρουλεμάν αλουμίνας μονώνουν αποτελεσματικά το ρεύμα, αποτρέπουν διαρροές ρεύματος και μπλοκάρουν τη στατική συσσώρευση. Αποφεύγουν πλήρως τη ζημιά από ρεύματα άξονα, την ηλεκτρική παρεμβολή και την απώλεια ρεύματος Eddy, καθιστώντας τα ιδανικά για ηλεκτρικό εξοπλισμό υψηλής τάσης, μονωμένα συστήματα μετάδοσης και ηλεκτρονικά μηχανήματα ακριβείας που απαιτούν αυστηρή ηλεκτρική απομόνωση.

3. Εξαιρετικά Υψηλή Σκληρότητα & Αντοχή στη Φθορά

Διαθέτοντας ακραία σκληρότητα Mohs και ισχυρή αντίσταση στην πίεση, η κεραμική αλουμίνα παρουσιάζει εξαιρετικά χαμηλή απώλεια τριβής κατά τη λειτουργία υψηλής ταχύτητας και συνεχούς λειτουργίας. Οι ακριβώς γυαλισμένες ράγες και οι κεραμικές σφαίρες υψηλής ακρίβειας εξασφαλίζουν ομοιόμορφη, ομαλή και σταθερή περιστροφή, μειώνοντας αποτελεσματικά τη φθορά των εξαρτημάτων, παρατείνοντας τη διάρκεια ζωής και μειώνοντας το κόστος συντήρησης του εξοπλισμού.

4. Μηδενική Μόλυνση & Καθαρή Λειτουργία

Ως μη μεταλλικό ανόργανο κεραμικό υλικό, η κεραμική αλουμίνα δεν παράγει μεταλλικά θραύσματα, μαγνητικά σωματίδια ή χημικές κατακρημνίσεις κατά τη λειτουργία. Συμμορφώνεται πλήρως με τα πρότυπα παραγωγής καθαρού δωματίου, τροφίμων και φαρμακευτικών προϊόντων, αποφεύγοντας αποτελεσματικά τη δευτερογενή ρύπανση στις πρώτες ύλες και τα εργασιακά περιβάλλοντα, κατάλληλο για σενάρια παραγωγής ακριβείας υψηλής καθαρότητας.

5. Εξαιρετική Σταθερότητα σε Υψηλές Θερμοκρασίες

Το υλικό έχει χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής και εξαιρετική αντίσταση σε υψηλές θερμοκρασίες, διατηρώντας σταθερή ακρίβεια διαστάσεων και δομική ακαμψία υπό μακροχρόνιες συνθήκες εργασίας υψηλής θερμοκρασίας. Αντέχει στη θερμική παραμόρφωση και το θερμικό σοκ, προσαρμόζεται σε πολύπλοκα και μεταβλητά βιομηχανικά περιβάλλοντα θερμοκρασίας με σταθερή απόδοση λειτουργίας.

Γιατί χρησιμοποιούνται ρουλεμάν αλουμίνας σε Etchers;

Για επεξεργασία χάραξης και εξοπλισμό Fab, τα υβριδικά κεραμικά ρουλεμάν νιτριδίου του πυριτίου (Si₃N₄) παραμένουν η κύρια επιλογή για ατράκτους υψηλής ταχύτητας. Τα ρουλεμάν αλουμίνας (πλήρως κεραμικά ρουλεμάν ή ρουλεμάν με κεραμικά στοιχεία αλουμίνας) αναπτύσσονται κυρίως σε σταθμούς κοντά στον θάλαμο επεξεργασίας που εκτίθεται σε αλογονική πλάσμα, όπου η ηλεκτρική μόνωση και η εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση είναι υποχρεωτικές. Τυπικές εφαρμογές περιλαμβάνουν ρομπότ μεταφοράς γκοφρέτας, πύλες θαλάμου, βαλβίδες ελέγχου ροής και περιστρεφόμενους μηχανισμούς κοντά σε ζώνες πλάσματος. Δεν είναι η προτιμώμενη επιλογή για ατράκτους.

5 Βασικοί Λόγοι

1. Αποκλεισμός μόλυνσης από μεταλλικά ιόντα (ο πιο κρίσιμος παράγοντας)
Η φθορά των ρουλεμάν χάλυβα GCr15 απελευθερώνει βαρέα μεταλλικά ρύπαντα όπως Fe, Cr και Ni. Μόλις εναποτεθούν στις γκοφρέτες, αυτές οι ακαθαρσίες προκαλούν άμεσα διαρροή συσκευής και απώλεια απόδοσης. Η αλουμίνα υψηλής καθαρότητας (βαθμός 99,9%) περιέχει σχεδόν καθόλου κινητές μεταλλικές ακαθαρσίες. Τα θραύσματα φθοράς που παράγονται κατά την τριβή είναι σκόνη αλουμίνας, η οποία φέρει πολύ χαμηλότερο κίνδυνο μόλυνσης από μεταλλικά θραύσματα υπό πλάσμα φθορίου/χλωρίου για διαδικασίες χάραξης.
2. Αντοχή σε περιβάλλοντα πλάσματος και αερίων αλογόνων
Θάλαμοι χάραξης όπως Lam Kiyo και Aether χρησιμοποιούν εκτενώς πλάσμα φθορίου/χλωρίου, συμπεριλαμβανομένων CF₄, Cl₂ και HBr. Ένα σταθερό στρώμα παθητικοποίησης AlF₃ σχηματίζεται στην επιφάνεια της αλουμίνας υπό πλάσμα φθορίου, παρέχοντας χαμηλό ρυθμό διάβρωσης. Σε αντίθεση με τον χάλυβα, δεν θα υποστεί αποκόλληση και αποβολή σωματιδίων που προκαλείται από πλάσμα. Ο ανοξείδωτος χάλυβας και ο χάλυβας ρουλεμάν διαβρώνονται γρήγορα και αποτυγχάνουν σε περιβάλλοντα αλογονικού πλάσματος.
3. Υψηλή ηλεκτρική μόνωση για αποφυγή γαλβανικής διάβρωσης RF (απαραίτητο για θαλάμους πλάσματος RF)
Οι θάλαμοι χάραξης λειτουργούν υπό πεδίο πλάσματος RF υψηλής τάσης 13,56 MHz. Τα ηλεκτρικά αγώγιμα ρουλεμάν προκαλούν ρεύματα άξονα, ηλεκτρικούς σπινθήρες και ηλεκτρική διάβρωση, οδηγώντας σε γρήγορη αστοχία ρουλεμάν και διαταραχή της ομοιομορφίας του πλάσματος. Η αλουμίνα είναι ένα εξαιρετικό διηλεκτρικό με ειδική αντίσταση >10⁴ Ω·cm. Η εγγενής μόνωσή της μπλοκάρει το ρεύμα του άξονα και την ηλεκτροστατική εκκένωση ESD.
4. Δυνατότητα ξηρής λειτουργίας και χαμηλή εκπομπή αερίων υπό υπερ-υψηλό κενό
Οι θάλαμοι επεξεργασίας διατηρούν συνθήκες υψηλού κενού (10⁻⁶ ~ 10⁻⁸ Torr). Τα συμβατικά γράσα και λάδια παράγουν πτητική εκπομπή αερίων που μολύνει τον θάλαμο. Διαθέτοντας υψηλή σκληρότητα και ευνοϊκές αυτολιπαντικές ιδιότητες, η αλουμίνα υποστηρίζει λειτουργία ξηρής τριβής χωρίς λάδι, εξαλείφοντας οργανικούς ρύπους και πληρώντας προδιαγραφές καθαρού κενού.
5. Εξαιρετική αντοχή στη φθορά, σταθερότητα διαστάσεων και θερμική σταθερότητα
Η σκληρότητά της Vickers (HV ≈ 1500–1650) είναι σημαντικά υψηλότερη από τον χάλυβα ρουλεμάν. Σε συνδυασμό με τη χαμηλή θερμική διαστολή, διατηρεί καλύτερα την προφόρτιση και την ακρίβεια υπό θερμικούς κύκλους του θαλάμου, κατάλληλο για ακριβή τοποθέτηση βαθμού P4/P2 και σταθερή μακροχρόνια κυκλική κίνηση.

Τύποι Υλικών:

1. Νιτρίδιο του Πυριτίου (Si₃N₄): Το χρυσό πρότυπο για κεραμικά στοιχεία. Προσφέρει υψηλότερη αντοχή σε θραύση, ακραία σκληρότητα και ανώτερη αντοχή στην κόπωση.
2. Ζιρκονία (ZrO₂): Συχνά πιο σκληρή και πιο ανθεκτική σε φορτία κρούσης, με ιδιότητες θερμικής διαστολής που μοιάζουν περισσότερο με τον χάλυβα.
3. Καρβίδιο του Πυριτίου (SiC): Χρησιμοποιείται για απίστευτα υψηλές θερμοκρασίες και εξαιρετικά διαβρωτικές βιομηχανικές εφαρμογές.

Χαρακτηριστικά:

ΕΞΑΙΡΕΤΙΚΑ ΥΨΗΛΗ ΘΕΡΜΟΚΡΑΣΙΑ
Όταν οι θερμοκρασίες υπερβαίνουν τους 300 C (572 F), τα τυπικά υλικά ανοξείδωτου χάλυβα 440C και χάλυβα χρωμίου 52100 αρχίζουν να χάνουν τις μηχανικές τους ιδιότητες. Τα πλήρως κεραμικά ρουλεμάν έχουν το πλεονέκτημα της εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασιακής ικανότητας έως 1800 F.

ΕΛΑΦΡΥ ΒΑΡΟΣ
Τα πλήρως κεραμικά ρουλεμάν είναι ελαφριά. Σε εφαρμογές που χρησιμοποιούν πολλά ρουλεμάν ή μεγαλύτερα μεγέθη, αυτό μπορεί να βοηθήσει στη μείωση του συνολικού βάρους του προϊόντος. Η μείωση του βάρους μπορεί να μειώσει επιπτώσεις όπως δονήσεις και τάσεις που προκαλούνται από εφαρμογές εκτός ισορροπίας. Η μείωση βάρους σε περιστρεφόμενα συγκροτήματα μπορεί να αυξήσει την ικανότητα ταχύτητας και την απόδοση.

ΜΗ ΜΑΓΝΗΤΙΚΟ
Τα πλήρως κεραμικά ρουλεμάν είναι μη μαγνητικά και δεν προκαλούν παρεμβολές σε εφαρμογές όπου υπάρχει έκθεση σε ισχυρό μαγνητικό πεδίο, όπως διαδικασίες δέσμης ηλεκτρονίων.

ΕΞΑΙΡΕΤΙΚΗ ΑΝΤΟΧΗ ΣΤΗ ΔΙΑΒΡΩΣΗ
Τα πλήρως κεραμικά ρουλεμάν είναι εξαιρετικά ανθεκτικά στη διάβρωση και αντέχουν στα περισσότερα κοινά οξέα, δεν διαβρώνονται σε έκθεση σε νερό ή θαλασσινό νερό.

ΜΟΝΩΤΙΚΟ & ΜΗ ΑΓΩΓΙΜΟ
Τα πλήρως κεραμικά ρουλεμάν είναι ηλεκτρικά μη αγώγιμα και θερμικά μονωτικά.

Εφαρμογή

• Ιατρικός & Εργαστηριακός Εξοπλισμός: Χειρουργικά όργανα, συσκευές ανίχνευσης, εργαστηριακά όργανα ακριβείας που απαιτούν μη μαγνητική απόδοση και υψηλή καθαριότητα
• Ηλεκτρονικός & Εξοπλισμός Ημιαγωγών: Εξοπλισμός μαγνητικού πεδίου, μονάδες αυτοματισμού ακριβείας, εγκαταστάσεις παραγωγής καθαρού δωματίου
• Αυτοματισμός Υψηλής Ταχύτητας Ακριβείας: Κινητήρες υψηλής ταχύτητας, εξοπλισμός μετάδοσης ακριβείας και μικροσκοπικά μηχανικά συστήματα